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2006 10 Chinese J our nal of L iqu id Cry st als and Displays O ct . , 2006
1007- 27 80 ( 200 6) 05-0515- 0 6
ZnO 基薄膜晶体管的研究
程松华, 曾祥斌
( , 430074, E- m ail hai_pen g 1234@ 163. com)
Z nO , ,
ZnO ( T FT )
Zn O 80 % ,
2 6
36 cm / V # s, / 10 , ( )
, Z nO T F T a- Si T F T Zn O
T F T Zn O T F T ,
,
ZnO T F T ; ; / ; ;
T N 14 1; T N 386 . 2 A
, A ML CD T FT
1 引 言
T F T
21 , a- Si T F T ,
, , ,
( A M LCD) ,
ZnO T F T
L CD ( T F T ) Zn O T FT
, , Z nO T F T
A M L CD T FT ,
, ( pol y- Si) T F T , , Zn O
( a- Si) T F T a- Si T F T T F T CM OS ,
, , ,
a- Si , ,
, ,
, 100 %
, , ( F CV A )
, ZnO , ZnO
a- Si 1. 7 eV ,
, , Zn O T F T ,
, T F T
T F T , ,
( ) T F T
T F T- L CD , , ZnO T F T , O2
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