切割机主轴电机技术研究.pdfVIP

- 电 字 工 业 毫 用 i殳备 材料制备 工艺与设备 切割机主轴电机技术研究 王兵锋，周建生 (中国电子科技集团公司第四十五研究所，北京 101601) 摘 要 ：在半导体封装技术领域 ，切割机是一种极其重要 的封装设备 ，而电主轴则是切割机非常 重要的一个执行部件 ，所以，对主轴电机技术的研究据有实际意义。介绍 了主轴 中电机的设计 、加 工技 术 。 关键词 ：切割机 ；电主轴 ；主轴 电机 中图分类号 ：TM343．05 文献标识码 ：B 文章编号 ：1004—4507(2011)06-0037-04 Research on SpindleM otorofDicingSaw WANGBing~ng，ZHOU Jiansheng (The45ResaerchInstituteofCECT，Beijing101601，China) Abstract：In theareaofsemiconductorsealtechnology，theDicingSaw isonekindofextremely importantsealequipment，and thespindleisavery importantexecutivecomponentin theDicing Saw ，therefore，theresearchonthespindlemotorhasvery importantly practicalsignificance．Inthis paper，thedesignmethodsandthemanufactureprocessingareintroduced． Keywords：DicingSaw；Spindle；Spindlemotor 随着半导体封装技术的发展，对半导体材料 异步 电机 ，它的工作原理与一般 的异步 电机相 同， 的切割能力也不断提出新的要求 。由于划切工序 其转速是靠提高供 电频率来实现的。 在半导体封装领域属于后道工序 ，如果在划切过 程 出现 问题，那么在此之前的所有工序都将报废 ， 1．1电机 的结构设计 所 以主轴 电机 的好坏至关重要 。目前，用在 电主轴 电机 的主要尺寸是定子铁芯的内径和有效 上的电机分为两种 ：一种是变频调速 的高速异步 长度。主轴 电机正常运转时，对定转子铁芯的发 感应 电机，另一种是无刷直流 电机。 热量的限制非常严格 ，如果 电机 的发热量 比较 大，会使主轴产生热变形，影响设备的切割精度。 1 高速异步感应电机 定转子铁芯材料都是用厚度为 0．2mm 的低牌 号的冷轧硅钢片，这样可 以减小铁芯内部的涡 这种 电机是结构简单、转动惯量小的鼠龙式 流，降低 电机的发热量。其主要尺寸方程式是电 收稿 日期：201l—O3—15 电 字 工 业 专 用 设 吝 材料制备工艺与设备 机 的功率、电磁负荷 以及转速等参量之间的关 高，冲模寿命较长，功率因数也得剑改善 。若选墩 系式： 大的槽 口，则可 以减小漏抗，提高电机的运行硬度 和过载能力。对于槽 口的大小选取，我们采J}j槽L】 。蒜