基于微装配的电控位移台控制系统设计.pdf

文章编号：1006—3269(2014)01—0025—04 基于微装配的电控位移台控制系统设计 王永杰，张嘉易，董福禄，路 超 (沈阳理工大学辽宁省先进制造与装备重点实验室，辽宁沈阳110159) 摘要： 鉴于微装配技术已经成为MEMS器件封装 力弱、机械装配水平有待提高[z’3]．在很多应用场 的关键，电控位移台是微装配整个过程的最主要运动平台， 合，为了满足精度要求，我们可为电控位移台配备光 针对电控位移台的自动化控制，以VisualC++6．0为控制系栅尺等反馈装置，来实现闭环控制． 统开发平台，采用基于动态链接库和VisualC++的MFC应 为了提高电控位移台的自动化控制和人机交互 用程序框架编程方法，编写了人机交互界面和控制系统程 性能，我们以VC++6．0为开发平台，采用基于动态 序．通过对电控位移台重复定位精度和空回精度的测量，得 链接库和VisualC++的MFC应用程序框架编程方 知重复定位精度和空回精度均为2“m，验证了该控制系统 法，编写了人机交互界面和控制系统程序．对电控 具有良好的人机交互性、可靠性，且易操作，执行效率高，实 位移台进行重复定位精度和空回精度的测量可知， 时性好． 关键词： 微装配；电控位移台；动态链接库；多线程 重复定位精度和空回精度可达到2肛m．这一精度 中图分类号： THl66文献标识码： A 已经应用于微装配系统． doi：10．3969／j．issn．1006—3269．2014．01．005 1控制系统的硬件结构 随着高科技发展，微机电系统(MEMS)产品已 电控位移台也称为电控平移台，是一种依靠步 经渗透到人们生活的各个角落，如手机、电脑、相机 进电机驱动的执行装置，通过丝杠将步进电机的角 等．伴随着MEMS的推广应用，微装配技术也日益位移转换为平台线位移[4]．本系统采用的是北京某 得到发展，成为实现MEMS器件封装的关键技公司生产的K系列KSA类型三轴平移台．此系列 术[1]．在MEMS器件装配系统中，实现高精度装配 平移台使用高精度滚珠丝杠和高精度线性滑块导 和完成不同零件之间的定位、搬运、释放等操作，要 轨，并配有进口光栅，以42系列步进电机驱动． 求运动平台具有足够的运动空间和很高的定位精 该位移台行程为200mm，采用自下而上的组 度．电控位移台因其精度高、速度快、承载大、行程 装方式组装，可以实现任意两轴或三轴直线插补，也 长等特点，在微装配系统中得到了广泛的应用． 可以实现任意两轴圆弧插补，有效地完成3个自由 高速大行程(行程一般在几百毫米)的电控位移 度的空间定位．它适用于复杂的多自由度场合，如 台是集精密机械、精密测量、自动化控制等多项技术 图1所示．并且，它还有配套的MC600控制箱，可 于一体的复杂系统．我国大行程电控位移台的研究 方便地实现闭环控制，如图2所示． 一直处于落后状况，主要原因是我国的配套加工能 2控制系统的软件设计 收稿日期：2013—06一12 对于本控制系统软件设计，我们采用Visual 基金项目：辽宁省自然科学基金资助项目(201102182) 作者简介：王永杰(1986一)，男，山东德州人，硕士研究生。主要从事C十+6．0作为开发工具，采用基于动态链接库和