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电场辅助化学溶液工艺技术制备硅酸锂(Li2SiO3)陶瓷薄膜.pdf
第37卷 增刊2 稀有金属材料与工程 V01．37，Suppl．2
2008年 5月 RAREMEl：ALMATERIAI．SANDENGINEERING2008
May
FabricationofLithiumSilicateCeramicFilms
by
FieldAssociatedChemicalSolution
Electric
Processing
／
，
HuangXin，YuPing，XiaoDingquan，AnHongna,ChenLianping
ofMaterials
(College Science，SichuanUniversity，Chengdu610064，China)
lithium filmshavebeen fabricatedonaconductivesubstrafea
directly by
Abstract：Mono—phasesilicate(Li2Si03)ceramic
electricfieldassociatedchemicalsolution atlow structureandthesurface
developed process temperature．111ecrystal
oftheceramicfilmswerecharacterized electron
morphology byX-raydiffraction()aRD)andscanning microscopy(SEM)
the forthelithium filmsaredescribedand
techniquesrespectively．Andpreparingprocesses silicate(Li2Si03)ceramic
withtheconventionallithiummetasilicatefabrication in workisa
discussed．Comparing techniques，thetechniquepresent
andlow
component-controllabletemperaturesynthesizingprocessing。
words：lithium solution
Key metasilicate；thinfilm；chemicalprocess
CLCnumber：0484．1Documentcode：A Article
ID：1002—185X(2008)$2—225-03
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