精密微小组件压装技术及仪器.pdfVIP

第23卷第6期 光学精密工程 V01．23No．6 andPrecision 2015年6月 Optics Engineering Jun．2015 07 文章编号 1004—924X(2015)06—1605 精密微小组件压装技术及仪器 娄志峰1，王晓东1’2，由博2，许 阳2 (1．大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁大连116023； 2．大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室，辽宁大连116023) 摘要：根据一种过盈联接精密微小组件的装配要求，研制了一套精密微小组件自动压装仪器。通过分析压装过程中压装 力与系统弹性变形的变化关系，对组件的压装位移进行了有效补偿。采用具有上下视野的机器视觉装置测量压装组件 的相对位置，并采用XY位移平台对组件进行精确对准。提出了对具有上下视野的机器视觉装置的标定方法；分析了组 件压装力与压装位移的关系，得出了压装力一位移曲线的预测值。对随机抽取的5套零件进行了装配实验，结果表明：对 组件进行精密对准后，组件压装位移一压装力曲线符合预测值；组件装配后相对位置的距离偏差小于±5“In，垂直度偏差 小于10肛m。实验表明组件装配精度达到了设计指标要求。 关键词：微小组件；过盈联接；压装仪器；零件对准 中图分类号：TH706文献标识码：A doi：10．3788／OPE1605 technoloand Pressing-fitting instrumentfor small precisionparts LOU B02，XU Zhi—fen91，WANGXiao—don91”，YOU Yan92 PrecisionNon—traditionalthe Education。 (1．KeyLaboratoryfor Machiningof Ministryof Dalian 1 Universityo厂Technology，Dalian16023，China； 2．Key forMicro／Nano and Laboratory TechnologySystemof Province， Liaoning Dalian Universityof 116023，China) Technology，Dalian *Correspondingauthor，E-mail：louz饱dlut．edu．cn tothe demandsof small withinterference Abstract：Accordingassembling precise parts fitting，a instrumentfor small was precisionpressing—fitting the