紫外激光脉冲沉积法制备高温超导(Bi,Pb)2Sr2CaCu2O8薄膜的研究.pdfVIP

锨曹孝 料 文章编号：1001—9731(2013)11—1642—04 紫外激光脉冲沉积法制备高温超导 Sr2CaCu2 (Bi，Pb)2 08薄膜的研究+ 张 辉h2，何恩全2，杨 宁2，张鹏翔2，阮耀钟1 (1．中国科学技术大学化学与材料科学学院，安徽合肥230026； 2．昆明理工大学材料科学与工程学院，云南昆明650093) 摘 要： 用紫外脉冲激光沉积技术在单晶衬底上制 法、金属有机物分解、沉淀法及化学气相沉积等均难以 备高温超导(Bi，Pb)：Sr。CaCu。O。薄膜，系统研究了 不同镀膜参数对薄膜结晶质量的影响，获得了优化的 镀膜工艺。并在较低温沉积、高温退火，以及高温沉积 少100h或多次烧结，即使如此也不易获得充分反应的 两种工艺下均获得了具有f轴取向、无杂相及无挥发 (分解)的(Bi，Pb)2Sr。CaCu2O。薄膜。相比于高温沉 显的挥发。而在860℃以上由于Bi：O。的熔化而导致 积，低温沉积、高温退火制备的薄膜结晶质量更好。 Bi一2212相易分解及挥发，因而也难以用液相外延技术 关键词： (Bi，Pb)。Sr：CaCu。()。薄膜；紫外脉冲激光制备。紫外脉冲激光沉积技术(PLD)，作为新兴的成 沉积技术；X射线衍射 膜技术，最大的优点在于能够保持薄膜的化学计量与 中图分类号：0484．1：0722+．4文献标识码：A 多晶靶的一致，PLD因此成为制备高质量多元化合物 DOI：10．3969／j．issn．1001—9731．2013．11．028高温超导薄膜最常用的手段之一[11-143，但即使采用该 种技术在生长Bi2212薄膜时，也同样可能面临着薄 1 引 言 膜中Bi的缺失问题，以及其它杂相u…。本文采用 高温超导材料的应用领域十分广阔，运行成本较 PLD技术，通过工艺条件的摸索和优化，获得了具有C 低，抗干扰能力较强，比低温超导设备具有更大的实用 轴取向的单相Bi一2212薄膜，并对镀膜的工艺参数进 行r讨论。 性。目前超导温度最高的为Tl—Ba—Ca—Cu一()和Hg— Ba—Ca—Cu O(Hg一1223的超导转变温度丁。，可达 2 实 验 135K)，但由于T1和Hg的剧毒性而使它们的制备和 应用受到限制；Y—Ba—Cu—O、Bi2Sr2Ca。Cu。。l 02一。(Bi 系)高温超导体由于化学稳定性好、毒性小，11。均可在 2212薄膜。紫外脉冲激光为LambdaPhysic生产的 液氮温度以上，因此成为实用化的高温超导材料体系。 LPX 高温超导材料的应用，多以包复多晶带材及薄膜形式 度为28ns。实验所用靶为Bi¨Pb02 为主。多晶带材在于解决晶界弱连接问题，从而提高 晶。由固相法制备¨6c。加热及镀膜过程中，衬底及薄 带材的临界电流密度‘，。。薄膜多应用于射频及微波 膜温度用红外测温仪实时监控。多晶靶与衬底间距离 通讯领域、测热辐射仪、异质结及约瑟夫森结等精密测 保持为4．5cm。为尽量减少薄膜中Bi的挥发，薄膜沉 量上。 自发现Bi系高温超导体以来，人们一直致力于其 薄膜的生长研究。由于Bi系复杂的晶体结构、多元化 合物特点、复杂的相图[1,23以及Bi的挥发性特点。Bi系 薄膜的性质对生长条件非常敏感。目前，原位生长的 与gi2212以一b面的匹配较好。1“。 Bi—sr Ca—Cu—O薄膜性能距实用化要求还相差较远．单 表1为制备薄膜的实验