基于介质上电润湿的平面可变焦液体微透镜.pdfVIP

第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5 AND 2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSACTUATORS 0ct．2006 Variable-FocusMicrolensBasedon onDielectric Liquid Electrowetting 0U J Li—tian Yang一如规，WUian—gang，KANGMing，YUERui—feng”，L，U (Institute 100084，China) ofMicroelectronics，TsinghuaUniversity，Beijing modern microlensesareusedmoreandmore Abstract：Inopticaltechnology，variable-focus a numberofnew havebeen forvariable-focusmicrolenses．Thevariable-focus technologiesproposed liquid microlensbasedon on hasthe of dielectric(EWOD)，which simple electrowetting outstandingadvantages structures，low tunableoffocal mostattractive．Anew of powerdissipation，easily length，etc．，is type microlensof itsfocal and1ateraI isdemonstrated． capableadjusting Iength position fluidics on Keywords：Electrowettingdielectric；Variable-focus；Microlens；Micro EEACC：4145 基于介质上电润湿的平面可变焦液体微透镜 欧阳帆，吴建刚，康 明，岳瑞峰’，刘理天 (清华大学微电子学研究所，北京100084) 摘 妻：在现代光学技术中，可变焦微透镜被越来越广泛的使用．在提出的各种新型的可变焦微透镜技术中，基于介质上电 润湿的微流体透镜由于其结构简单、功耗低、调节焦距方便等众多突出的优点而被人们所重视．本文中研制出一种基于介质 上电润湿的平面微透镜结构，它不仅能控制改变焦距，还能实现透镜在平面上的横向运动。 关键词：介质上电润湿；变焦；微透镜；微流体 中图分类号：TN942．2+l 文献标识码：B 在光学系统中，变焦透镜扮演着十分重要的角 镜[3]、基于介质上电润湿的流体变焦透镜[4]等．随着 色．近年来随着光通信技术的发展，对微型的变焦透 研究的进一步深入，基于介质上电润湿的流体变焦 镜的需求也越来越大．传统的变焦镜头通常由两片