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使用自激振荡法提高原子力光子扫描隧道组合显微镜的扫描速度.pdf
第18卷第4期 光学精密工程 V01．18No．4
andPrecision
2010年4月 0ptics Engineering Apr．20lO
文章编号 1004—924X(2010)04—0906一07
使用自激振荡法提高原子力光子扫描
隧道组合显微镜的扫描速度
王 昭，吴世法，刘 琨
(大连理工大学物理系近场光学与纳米技术研究所，辽宁大连116024)
摘要：介绍了采用频率偏移控制样品／探针间距的原子力光子扫描隧道组合显微镜(AF／PSTM)。制备了尖端直径100
nm，锥角为60～90。的锐利大锥角探针用于轻敲自激振荡模式的AF／PSTM，该探针固定在压电陶瓷片上置于一个正反
馈回路中激励探针振荡。使用锁相器解调自激振荡探针的频率，调整Z方向压电陶瓷的运动使得锁相器检测到的值维
持恒定来跟踪样品的起伏。对外加激励模式和自激振荡模式进行了对比。理论分析表明，自激振荡方法减小了探针响
应时间；测试试验显示，采用自激振荡模式AF／PsTM的带宽为50Hz，比外加振荡模式快一个数量级。采用改进后的
仪器对光栅样品以1Hz的速度进行了扫描，扫描结果显示，采用自激振荡的方式得到的形貌和光学图像比外加激励模
式更清晰，不仅响应时间更快，通过提高Q值还可以提高分辨率而不会增加系统进入稳态的时间。
关键词：原子力／光子扫描隧道纽合显微镜；自激振荡模式；响应时间
中图分类号：TH742．9文献标识码：A
for
electronics
SeIf_oscillating improVing
in
AF／PSTM
speed
scanning
WANGZhao。WUShi—fa，LIUKun
(1ns￡i￡M￡eNe口r—Fie￡d nnd
of o争tics Na礼。一Technology，
16024，C巩i，l口)
DP户nr￡优P竹￡o厂P^ysics，D口Zin以Lkfwrsi￡yo，了■cJIl竹oZogy，DnZi口挖1
atomicForcePhoton here，
Abstract：An TunnelingMicroscope(AF／PSTM)is
Scanning reported
whichusesashiftinresonance tocontrolthedistancebetweena andafiber
frequency sample probe．
For mode endand conical
self二oscillatingtappingAF／PSTMapplications，asharp large angleoptical
fiberwith diametersmallerthan1OOnmandacone of60～90。is
an fabricated．The
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