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划片机运动性能对划切工艺的影响.pdf
电子工业专用设备
先进封装技术与设备 Equipment for Electronic Products Manufacturing
划片机运动性能对划切工艺的影响
王兵锋,于海波,王宏智,孙 彬,季 峥
北京中电科电子装备有限公司 ,北京
( 101601)
摘 要 : 通过对砂轮划片机的架构和工作原理研究 ,分析了 电机速度震动对崩边的影响 , 电
X Y
机的比例 、积分 、微分调节对切割位置的影响 ,阐述了 Z 轴向电机测高的机理以及对整机的影响 。
结合工艺划切验证 ,减小了不良运动特性 ,减少了设备可能存在的隐患 ,改善设备的划切效果 。
关键词 : 划片机 ; 调节 ;反馈 ;测高
PID
中图分类号 : TN305.1 文献标识码 : A 文章编号 :1004-4507(2014)09-0032-05
Research on the Effects of Dicing Saw Move Characteristic
on the Cutting Process
WANGBingfeng,YUHaibo,WANGHongzhi,SUN Bin,JIZheng
(CECTBeijingElectronicEquipmentCo.,Ltd,Beijing101601,China)
Abstract: Introducethestructureandtheworkingprincipleofdicingsaw;analysistheX motorspeed
vibrationeffectsontheedgecollapse;analysistheY motorPID adjusteffectsonthecuttingposition;
instructtheheightestoftheZaxismotor,andanalysistheeffectiononthemachine.Accordingtothe
experimentsonmachine,Theharmfulmovementsarereduced,andtheproblemsthatmayexistonthe
machinearealsoreduced.Improvethecuttingqualityofthemachine.
Keywords: Dicingsaw;PID(proportionintegrationdifferentiation)adjust;Feedback;Heighttest
传统划片机的划切工艺注重切割冷却水、气 刀问题提出了新的解决方案,并在整机设备上做
压、刀具选择等,通过大量的实验还对上述三项建 了验证考核,结果验证了本文所提出的方案正确、
立了数据库,而电机的运动特性对划切工艺的影 可靠。
响往往被忽视;本文以划片机各轴向电机的运动
性能为切入点,从运动控制的角度论述了电机运 1 设备的主要构架和切割动作
动性能对划切工艺的影响;在前人对划切工艺研
究的基础上,突破传统的划切工艺范畴,特别针对 砂轮划片机是以强力磨削为划切原理,空气
Y 轴向步进偏差、Z轴向测高不稳定以及测高打 主轴为执行元件,以每分钟数万转的转速划切晶
收稿日期 :2014-06-23
32 (总第235 期)
Sep. 2014
电子工业专用设备
Equipment for Electronic Products Manufacturing 先进封装技术与设备
圆的划切区域,同时承载着晶圆的工作台以一定 服电机,高
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