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划片机运动性能对划切工艺的影响.pdf

电子工业专用设备 先进封装技术与设备 Equipment for Electronic Products Manufacturing 划片机运动性能对划切工艺的影响 王兵锋,于海波,王宏智,孙 彬,季 峥 北京中电科电子装备有限公司 ,北京 ( 101601) 摘 要 : 通过对砂轮划片机的架构和工作原理研究 ,分析了 电机速度震动对崩边的影响 , 电 X Y 机的比例 、积分 、微分调节对切割位置的影响 ,阐述了 Z 轴向电机测高的机理以及对整机的影响 。 结合工艺划切验证 ,减小了不良运动特性 ,减少了设备可能存在的隐患 ,改善设备的划切效果 。 关键词 : 划片机 ; 调节 ;反馈 ;测高 PID 中图分类号 : TN305.1 文献标识码 : A 文章编号 :1004-4507(2014)09-0032-05 Research on the Effects of Dicing Saw Move Characteristic on the Cutting Process WANGBingfeng,YUHaibo,WANGHongzhi,SUN Bin,JIZheng (CECTBeijingElectronicEquipmentCo.,Ltd,Beijing101601,China) Abstract: Introducethestructureandtheworkingprincipleofdicingsaw;analysistheX motorspeed vibrationeffectsontheedgecollapse;analysistheY motorPID adjusteffectsonthecuttingposition; instructtheheightestoftheZaxismotor,andanalysistheeffectiononthemachine.Accordingtothe experimentsonmachine,Theharmfulmovementsarereduced,andtheproblemsthatmayexistonthe machinearealsoreduced.Improvethecuttingqualityofthemachine. Keywords: Dicingsaw;PID(proportionintegrationdifferentiation)adjust;Feedback;Heighttest 传统划片机的划切工艺注重切割冷却水、气 刀问题提出了新的解决方案,并在整机设备上做 压、刀具选择等,通过大量的实验还对上述三项建 了验证考核,结果验证了本文所提出的方案正确、 立了数据库,而电机的运动特性对划切工艺的影 可靠。 响往往被忽视;本文以划片机各轴向电机的运动 性能为切入点,从运动控制的角度论述了电机运 1 设备的主要构架和切割动作 动性能对划切工艺的影响;在前人对划切工艺研 究的基础上,突破传统的划切工艺范畴,特别针对 砂轮划片机是以强力磨削为划切原理,空气 Y 轴向步进偏差、Z轴向测高不稳定以及测高打 主轴为执行元件,以每分钟数万转的转速划切晶 收稿日期 :2014-06-23 32 (总第235 期) Sep. 2014 电子工业专用设备 Equipment for Electronic Products Manufacturing 先进封装技术与设备 圆的划切区域,同时承载着晶圆的工作台以一定 服电机,高

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