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振动与冲击 OFVIBRATIONANDSHOCK 第28卷第9期 JOURNAL 双腔室空气弹簧性能研究 徐登峰，朱煜，尤政，贾松涛 (清华大学精密仪器与机械学系，北京100084) 摘 要：在超精密加∥检测、Ic制造及光学领域中，隔振器已经成为了许多设备的必要子系统，它能够对自地面 或负载的振动进行隔／减振，有助于保证设备实现最终的设计精度。在众多的隔振器中，空气弹簧以其性价比高得到了广 泛地应用，其固有频率基本不依赖于负载。在C．Erin的研究基础上，将节流孔数目参数引入，通过推导得到了空气弹簧 的改进理论模型，并在此基础上分析了腔室、节流孔及或活塞等结构参数对空气弹簧动力学性能的影响，有助于进行结构 的优化设计，同时得出在节流孔板高度即节流孔长度限制的条件下，减小节流孔直径并增加节流孔数量会提供较好的阻 尼效果。最后通过试验验证了理论分析的结果，为以后的深入被动及主动隔振器的研究打下了基础。 关键词：隔振；空气弹簧；动力学 中图分类号：TB53 文献标识码：A 在超精密加工／检测、Ic制造及光学领域中，环境 室，上下腔室内部充满了压力空气，隔板上设计节流 振动通过地面振动传递到超精密设备上，对设备的测 孔，活塞通过柔性的橡胶密封圈与缸体上部连接。其 量子系统或结构件造成危害，从而影响设备的高精度 减振原理是活塞或缸体受到外界扰动发生上下振动 运行¨q1。地面传递的振动主要集中在20Hz以下，其 时，上下腔室内部空气产生压力差，压力差使空气往复 波长较长，通过隔振沟的方式难以实现隔断【4J，因此隔 通过腔室间节流孑L(Flow 振器成为这些超精密设备的一个必要子系统。 动能量转化为热能，从而达到衰减振动的目的。空气 在各种隔振器中，空气弹簧作为结构简单、性价比 弹簧能够实现低频大阻尼值、高频小阻尼值的阻尼能 很高的隔振器得到了广泛的应用，与此同时出现了针 力，理论上能够提供0～∞的阻尼值一J。 对更为优化性能的大量研究文献。在这些研究文献 节流孔数量会对空气 负载 活塞 中，应用于汽车火车及舰船领域中囊式空气弹簧的研 弹簧传递率产生影响，同样 橡胶密封圈 究文献占大多数【5-8J，他们研究了气囊结构参数、节流 的也会对新型空气轴承阻 孔参数、对其刚度和动态性能的影响。在加U检测、 尼性能产生影响，所以首先 阻尼孔 IC制造及光学领域中主要使用的空气弹簧与囊式空气 分析节流孔数目对空气弹 弹簧存在区别，其负载的振动幅值较小，负载质量较 簧的影响是十分必要的。 轻，因此结构中没有较大的空气囊，而是紧凑的密封 考虑节流孔数量的影响，按 B．Debra 圈，从而尽量减少了系统的非线性。Daniel 照C．Erin的理论推导过 研究了线性节流器的空气弹簧∽J，C．Erin通过N—S程，加入节流孑L数目参数进 图1空气弹簧原理图 方程推导出了系统的传递函数¨0|，对于存在的误差通 行推导。针对图1所示空气弹簧，活塞和负载设定支 过测试方式得到橡胶密封圈等效刚度和阻尼，然后将 撑在上腔室上方。 等效刚度和阻尼加入到理论分析中，得到了很好的分 按照C．Erin的理论推导，同样设定系统的气体为 析精度。国内针对此空气弹簧的研究较少，本文将借 理想气体，采取大长径比节流孑L得到近似层流，等温过 鉴C．Erin的理论，加入节流孔数目因素