固相合成法制备CaO-B2O3-SiO2系LTCC材料的研究.pdfVIP

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2015-09-29 发布于湖北
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固相合成法制备CaO-B2O3-SiO2系LTCC材料的研究.pdf

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固相合成法制备CaO-B2O3-SiO2系LTCC材料的研究.pdf

第34卷第4期压电与声光 V01．34No．4 PIEZOELECTRICSACOUSTOOPTICS 2012年osB Aug．2012 文章编号：1004—2474(2012)04—0609—05 固相合成法制备CaO—B2 杨石林，邓新峰，李恩竹，周晓华，张树人 (电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室，四川成都610054) 摘要：采用传统的固相合成工艺制备钙硼硅系LTCC粉体材料。考察了不同烧结温度和Bzos含量对材料性能的影响。实验结果表明，随着烧结温度升高，样品的致密化程度越高，但温度超过975℃会产生熔融和变形的 6．06，tand一0．0015(1MHz)，弯曲强度巩≥180MPa，通过扫描电子显微镜观察其烧结的致密性较好；B20。含量继续升高时，样品的力学性能和电学性能急剧恶化。关键词：固相合成法；LTCC；CaO-BzOa—SiOz系；弯曲强度；介电性能 174．75 中图分类号：TM 文献标识码：A on LTCCMaterials CaO—B203-Si02 by Study Prepared SolidStateReaction Technique YANGShilin，DENG Enzhu，ZHOUXiaohua，ZHANGShuren Xinfeng，LI (StateI。ab．ofElectronicThinFilmsand ofElectronicScienceand Key IntegratedDevices，University of TechnologyChina，Chengdu610054，China) I。TCC materialswere thesolidstatereaction Abstract：TheCaO-B203一Si02 by technique．The powder prepared effectsofdifferent and contentsonthe were re— sinteringtemperatureB203 materials’propertiesinvestigated．The sultsshowedthatthe ofdensificationincreasedwiththeincreaseof melt degree sinteringtemperatures；however，the wereover molarratioofCaOtO anddeformationwereoccurredwhenthe 975℃．T