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SiSiGe PMOS器件的模拟优化设计与样品研制.pdf
第22卷第11期 半 导 体 学 报 v。1.22,N。】1
2001年11月 CHlNEsE 0F
JOURNALSEMICoNDUCTORSNov..2001
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92mS/mm(77K)forPMOSFEr’s(上一2“m),whIlelt 1s33mS/
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39mS/mm(77K)f。rSj
Keywords:SiGe;MOSFET;optimizat
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