原子力显微镜成像与纳米操作控制的研究.pdf

摘要 器参数自整定。原子力显微镜在组件以及扫描速度发生变化时，通常需要对PI 控制器的参数进行反复调整，这给操作者带来了很大的困难。为了提高系统的 易用性，本文利用继电反馈方法对原子力显微镜的PI参数进行自整定。具体而 言，受到继电反馈的激励，原子力显微镜系统会产生极限环。根据极限环的信 参数进行整定。实验表明，这种基于继电反馈的方法能够辨识出各种组件变化 对系统带来的改变；并且根据扫描速度适当调整PI参数后，系统不会出现振荡 现象。 (3)轻敲原子力显微镜巩控制器设计与仿真。针对原子力显微镜系统带 宽窄，对噪声干扰敏感等缺点，论文设计了巩鲁棒控制器。具体而言，针对 压电陶瓷和悬臂梁模型，本文利用巩混合灵敏度设计方法，通过引入误差、 控制量以及输出的权值函数对所要设计的控制器性能指标进行量化，从而使得 设计的控制器能有效地阻尼系统的共振频率。通过对各种样品进行跟踪仿真测 试表明：玑鲁棒控制器能够较好地跟踪各种波形，并且它可以使针尖与样品 间的作用力维持在几十个纳牛左右；此外，该控制器相对PI控制器具有更好的 噪声抑制作用，对于模型不确定性也有良好的鲁棒性。 (4)压电扫描管精确定位探针研究。探针纳米定位是纳米操作的关键技术 之一。针对管式压电扫描器对探针进行纳米定位的问题，论文提出了一种分步 定位的方法，实现了纳米级别的定位精度。其主要步骤如下：(a)针对驱动器 的迟滞现象，首先对标定光栅进行成像，并通过特征点提取和分析可以得到迟 滞回线；利用曲线拟合的方法，计算出所需要补偿的电压，从而实现迟滞特性 的有效补偿：(b)对于其他误差如结构误差和耦合误差等，利用探针对标定样 品进行压印，通过压印图像可以计算期望位置与实际位置的误差，通过补偿该 误差可以实现探针的粗定位；(c)对于热漂移以及粗定位的误差，使用局部扫 描的方法来估计颗粒的中心位置，从而实现精确定位。 (5)由于一般原子力显微镜并不具备直接纳米操作的功能，论文搭建了开 放式的纳米操作平台，主要采用RTLinux系统来保证实时性，该纳米操作系统 具有良好的开发接口，可以非常方便地完成多种纳米操作。论文通过纳米刻画、 压印及推动等实验，证实了该原子力显微镜纳米操作系统的有效性。 关键词：原子力显微镜(AFM)，系统建模，玑控制器，PI自整定，纳米 定位，纳米操作平台 第ll页 Abstract Abstract SincetheinventionoftheAtomicForce hasbeen Microscope(AFM)，itwidely utilizedtO the inthe of aswell醒 researchfields explore biology，material，chemistry oneofthemost instrumentsfor physics．Consequently,aspowerful llano-imaging and anditsrelated are aS nano-manupulation,AFMtechnologiesregardedthe“eyes’’ and“hands”of AFMresearch areof nano-technology．Hence，thedevelopments vital tomicro／nano andhave lotsofattentionacrossthe importance systems gained inAFM for world．Trueadva