《CVD金刚石薄膜表面抛光技术的研究》.pdfVIP

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2015-10-14 发布于河南
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《CVD金刚石薄膜表面抛光技术的研究》.pdf

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《CVD金刚石薄膜表面抛光技术的研究》.pdf

2008年2月航空精密制造技术 Feb．2008 AVIATloNPREC|sloNMANUFACTURlNGTECHNoLoGY No．1 第44卷第1期 voI．44 CVD金刚石薄膜表面抛光技术的研究张克华也，文东辉2，袁巨龙2 (1．浙江师范大学交通学院。金华321014 2．浙江工业大学机械制造及自动化教育部重点实验室，杭州310032) 【摘要]对CVD金刚石膜的离子束铣削、电子束加工、激光加工、化学辅助机械抛光、热化学抛光等抛光技术的加工方法与原理进行了介绍，分析了这些方法的优点和不足之处。并展望了CVD金刚石薄膜抛光技术的发展方向。【关键词】化学气相沉积；金刚石薄膜；抛光【中Itt分类号]TG580．692 [文献标识码】B of forCVDDiamondThinFilms StudyPolishingTechnology ZHANG Ke-hua，WEN Dong-hui，YUANJu-long Normal of 321014 (1．ZhejiangUniversityCollegeTransportation，Jinhua ofMechanical Manufactureand 2．KeyLaboratory Automation， of of ZhejiangUniversityTechnology，MinistryEducation，Hangzhou310032) methodand of for [Abstract]The chemical filmswere principlepolishingtechnology vapourdeposition(CVD)diamondintroduced， suchasionbeam beam，laser，chemical-assistedmechanicalandthermalchemical merit milling，electronic polishing polishing．The andthe were directionof forCVDdiamond analyzed thinfilmWas deficiency too．Finally．thedevelopment polishingtechnology forecasted．【Keywords】chemicalvapour thin deposition；diamondfilms；polishing 1引言绝缘性质使金刚石薄膜可以作为半导体激光器和集成电路芯片的散热器件。提高激光、计算机的性能和自古以来。璀璨夺目的金刚石一直是人们梦寐