工艺参数对SUS304不锈钢抛光速度与抛光质量的影响.pdfVIP

第 l4卷第3期 江 南 大 学 学报(自然科 学 版) Vo1．14 No．3 2015年 6月 JournalofJiangnanUniversity(NaturalScienceEdition) Jun． 2015 工艺参数对 SUS304不锈钢抛光 速度与抛光质量的影响 张 强， 赵永武 (江南大学机械工程学院，江苏无锡214122) 摘 要：为提高不锈钢的抛光质量与效率，配制新型环保不锈钢抛光液，对 SUS304不锈铜进行化 学机械抛光。研究压力载荷、抛光时间、抛光线速度、pH值等工艺参数对不锈钢抛光性能的影响，结 果表明，SUS304不锈钢在最佳的工艺参数组合下，可以达到最佳的抛光效果。 关键词：化学机械抛光；SUS304不锈钢；抛光工艺参数；材料去除率；粗糙度 中图分类号：TG175 文献标志码 ：A 文章编号：1671—7147(2015)03—0321—05 Resarch oftheInfluenceofProcessParameterson thePolishing SpeedandPolishingQualityofSUS304StainlessSteel ZHANGQiang， ZHAOYongwu (SchoolofMechanicalEngineering，JiangnanUniversity，Wuxi214122，China) Abstract：High—quality，cost-effectiveandenvironment—friendlyslurryarepreparedandappliedinchemicalmechanical polishing(CMP)ofSUS304stainlessstee1．Theeffectsofpressureloads，polishingtime，polishinglinearvelocityand pH valuesontheperformanceoftheslurryaretested．TheresultsshowthattheSUS304stainlesssteelcanachievegood polishingresultsundertheoptimalprocessparameterscombination． Key words：chemicalmechanicalpolishing，SUS304 stainlesssteel，polishing process parameters，materialremoval rate，roughness 不锈钢 由于其独有的 “意匠性”、“耐腐蚀性” 料、污垢和油脂等缺陷；单纯的化学处理工艺不仅 和 “功能性”适用于许多领域，如在石油、化工、化 耗时较长，且材料表面抛光较不理想；电化学抛光 肥、医药、造纸、原子能、海洋工程和装饰工程等领 工艺虽然在一定程度上解决了机械抛光难于解决 域都得到了广泛应用 J。对于不锈钢的表面加工， 的问题，但也存在耗能高、污染重、投资高、操作工 传统工艺多为机械、化学、电化学加工，机械加工处 艺复杂等的衍生问题 引。近年来，随着全球信息化 理后工件的表面较易出现应力变形、金属晶格组织 产业的井喷式发展，作为最好的也是唯一的全局平 损坏，表面氧化生锈腐蚀，并出现毛刺，附着微小磨 面化技术，化学机械抛光 (CMP)被广泛应用于 收稿 日期 ：2014—09—28； 修订 日期 ：2014—12—29。 基金项 目：国家 自然科学基金项 目；中央高校基本科研业务 费专项基金项 目(JUSRP10909， JUDCF13028)；清华大学摩擦学国家重点实验室开放基金项 目(SKLTKE10B04)；教育部留学回国人员 科研启动基金