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第 3O卷 第 6期 电 子 显 微 学 报 Vo1．30．NO．6 2011年 12月 JournalofChineseElectronMicroscopySociety 20l1—12 文章编号：13(00-6281(2011)06-0473．10 在扫描 电子显微镜中原位操纵 、加工和测量纳米结构 陈 清，魏贤龙 (北京大学电子学系，纳米器件物理与化学教育部重点实验室，北京 100871) 摘 要 ：在 电子显微镜 中对纳米材料和纳米结构进行原位测量是 了解纳米材料 的结构与性能关系的最重要手段 ， 并且 ，在 电子显微镜 中操纵和加工纳米材料与纳米结构还可研 究新结构和新器件 。由于扫描 电镜有大的样品室、 可较容 易地 引入 多个 多种测量和操纵探针 、并可配备 多种探测器从 多个角度对 同一个样 品进行表征 ，使得扫描 电 镜 中的原位研究在纳米材料和纳米器件研究方面有独特的应用。本文重点回顾作者近年来在扫描 电镜 中原位研 究方面的一些工作进展 。主要包括一系列原位操纵、加工和测量方法的发展 ，及对碳纳米管的力学和 电学特性的 研 究 。 关键词 ：原位扫描 电镜 ；纳米操作和纳米加工；碳纳米管；性能测量 中图分类号 ：TG115．215．3；TB383 文献标识码 ：A 纳米科技 的发展将在诸多方面改变世界也同 透射电镜有原子尺度的结构分辨率 ，如果结合 时改变我们的生活。纳米材料 由于大的表面积与 x射线能谱和电子能量损失谱 ，还可表征材料 的成 体积 比和尺寸限域效应等很多奇异 的特性使之具 份和电子结构 。已有一些很漂亮的透射 电镜原位 有广泛的应用。材料科学最重要 的问题之一是结 测量工作发表 ，但 由于透射 电镜 的样 品室非常狭 构 一性能 一力Ⅱ工 (structure—property—processing)之间 小 ，只能引入有 限的测量和操纵探针，能开展的测 的关系。认识纳米材料的结构 一性能 一加工关系， 量工作很有限。扫描电镜虽然极 限分辨率只有约 1 尤其是结构与性能的关系对诸多领域 的相关研究 ～ 2Rill，但它有较大的样品室 ，可以相对容易地引入 和应用都至关重要 ，如纳米科 学与技术 、材料科学 、 多个和多种测量和操纵探针。且扫描 电镜可以配 物理 、化学和生物等领域。在结构表征方面，电子 备多种探测器 ，如二次电子探头 、背散射探头 、x射 显微学 ，包括透射电子显微学和扫描 电子显微学 ， 线探头和阴极荧光探头等，可从多个角度对 同一个 是纳米材料最重要 的、有时甚至是唯一的结构表征 样品进行表征。本文作者及其研究团队(以下简称 手段。在性能测量方面 ，很多传统方法可用于测量 作者)在国际上较早地把纳米操纵器引入到扫描电 材料的性能，但通常需要一定量 的样 品，很少能测 镜中，发展出一系列扫描电镜 中的原位操纵 、测量 量单个纳米结构 (如单根纳米管或纳米线)的性能。 和加工方法 ，并重点研究了碳纳米管 的力学和电学 因此 ，传统的性能测量方法往往给 出多个纳米结构 特性 。本文将主要介绍作者近年来在扫描 电镜原 性能的平均或总体效果。但 问题是 ，纳米材料个体 位研究方面的一些工作进展。 之间常常不同，如半径、表面吸附、内部缺陷和掺杂 1 实验条件 情况等 ，即使是用同样方法属于同一批次制备 的纳 米材料其结构也不尽相 同。而纳米材料很小的结 原位实验研究是在装置 了2～4个纳米探针 的 构差异都可能造成其性能的明显不 同。如何保证 扫描电镜中进行 。作者使用 的是 FEI的XL30F或 结构表征与性能测量 的结果真正对应就成为认识 Quanta600型场发射扫描电镜。