光电检测技术 第九章.ppt

* 第9章 光电检测技术在机械领域的典型应用 掌握内容 理解内容 了解内容 第9章 主要内容 9.1 双频激光干涉仪 9.2 表面粗糙度测量仪 9.3同轴式高分辨率激光轮廓仪 9.4 工业CT（探伤）涡流成像系统 9.5 CCD成像测量技术 几何量的检测广泛应用于机械加工、装配等领域，采用光电检测的方法来实现几何量的检测较之用机械或其它检测方法具有很多突出的优点，如非接触，响应快，测量对象多，材料适用性强，高分辨率等，当然，它也存在诸如易受环境污染，需要准直的光路等缺点。根据光电检测原理不同，几何量的光电检测技术可分为几何量图像检测技术和直接测量技术。直接测量技术主要用干涉仪或其它测量标尺（光栅）进行测量，而几何量图像检测技术主要应用CCD成像原理，通过计算机的图像（或通过硬件的方法）识别边缘，达到测量长度、孔径等目的。 第9章 光电检测技术在机械领域的典型应用 9.1 双频激光干涉仪 稳频信号 布儒斯特窗 激光器 偏振分光镜 测量角锥镜 固定角锥镜 分光器 光扩展器 偏振片 光电 接收器 参考信号 测量信号 透镜 9.2 表面粗糙度测量仪 1.光点变位法（三角法） 2.临界角法 1-激光二极管（光源） 2-准直物镜 3-偏振光棱镜 4 -λ/4 波片 5-物镜 6-被测表面 7-半透棱镜 8-临界角棱镜 9-临界角棱镜 A,B,C,D-四个光探测器 图9-5 临界角法超精密粗糙度探测装置光路图 3.光纤传感器检测法 4. 激光散射法 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 加工纹理方向   9.3 同轴式高分辨率激光轮廓仪 工作原理 测量形状误差分析 测量精度分析 1．垂直分辨率 2．不确定度测试 3．横向分辨率测试 4．对比测试 9.4 工业CT（探伤）涡流成像系统