基于PDMS的自组装制备可调谐光栅的研究.pdfVIP

第37卷第5期 压 电 与 声 光 Vo1．37NO．5 2015年1O月 PIEZOELECTRICS8乙AC0UST00PTICS 0ct．2O15 文章编号 ：1004—2474(2015)05—0847—04 基于PDMS的自组装制备可调谐光栅的研究 马宏宇，杨秋翔 (中北大学 计算机与控制工程学院，山西 太原 ，030051) 摘 要 ：传统方法制作可调谐光栅的制作工艺复杂 ，成本高，时间长 ，因此 ，该文提 出了一种新型的基于聚二 甲 基硅氧烷(PDMs)可调谐光栅法 ，通过氧等离子体法制作 出微米尺度的光栅结构 。利用等离子体时间的可控性和 PDMS的优异弹性，通过调控等离子体的时间和PDMS的拉伸程度的(最大可拉伸 12o％)，制得所需尺寸光栅。将 制得 的光栅薄膜沿光栅栅线方 向拉伸 ，随着栅线的伸长 ，光栅常数随之变小，从而对光栅周期进行连续、任意调谐 ， 并获得预定的 目标周期 实验表 明，制作的光栅可调谐范围可达 4o％，且调谐过程 中金属光栅保持完整 ，衍射角变 化明显，理论值与实验值基本吻合，取得了预期的实验效果。实验结果表明，提出的新型可调谐光栅制作成本和周 期降低，工艺制作过程较简单 ，且易控制。 关键词：氧等离子体 ；聚二 甲基硅氧烷 (PDMS)；可调光栅；周期；光栅常数 中图分类号 ：TM211；TH706 文献标识码 ：A StudyonTunableOpticalGratingsBasedonSelf-AssemblyofPDM S MAHongyu，YANGQiuxiang (SchoolofComputerScienceandControlEngineering，NorthUniversityofChina，Taiyuan030051，China) Abstract：Becauseconventionalmethod fortunablegrating fabrication hasharsh processcondition，complex fabricationprocess，highcostsandlongcycle，anovelPDM S-basedapproachforfabricationofatunablegratingis introducedinthispaper．Byanoxygenplasmamethodtoproduceamicronscalegratingstructure，andmaking．Use ofplasmafreetimecontrollabilityandexcellentelasticofPDMS(maximum tensilewas120 )，thedesiredgrating canbeobtained．Thenbystretchingthefilm alongthegratingline，asthegratinglineelongating，thegratingcon— stantdecreases，thegratingSspatialperiodcouldbecontinuouslyvariedandcanobtainapredeterminedtargetperi— od．Experimentalresultsshow thattheproductionofagratingtunablerangeisuptO40 ，andthetuningprocess tOmaintaintheintegrityofthemetalgratinganddiffractionanglevariessignificantly，thetheoreticalvaluesandex～ perimentalvaluesarebasicallythesame．Theexperimentverifiedthismethodforadjustablegratingfabricationhas advantages