各向异性磁电阻感器的研究.pdfVIP

摘要 摘要 各向异性磁电阻(AMR)传感器是近年来磁敏传感器的研究重点之一。AMR 传感器是利用微电子、微机械加工和薄膜技术将Barber电极和敏感薄膜集成一体 的新型磁敏元件，具有微型化、高灵敏度、低功耗、易集成、易批量生产等优点。 本文主要研究AMR薄膜的制备、薄膜型磁电阻单元的优化、AMR单元制备过程 中的工艺问题、测试系统的制作与AMR单元的性能测试。 采用磁控溅射方法制备AMR薄膜。根据现有溅射系统的特点自行设计了能 够产生均匀诱导磁场的基片底座，在此基础上制得了最大磁电阻相对变化率达到 2．8％的薄膜。并通过对于工艺条件的摸索，得到了薄膜磁电阻随基片温度及溅射 功率的变化规律，实现了工艺参数的优化。 了不同取向Barber电极的磁电阻相对变化率随归一化磁场的变化曲线，结果表明 薄膜磁电阻条宽度为Barber电极间距两倍时，Barber电极与磁电阻条长度方向夹 角取50。的传感器具有较好的输出对称性。为AMR传感器输出曲线的对称性，优 化AMR传感器性能提供了理论依据。 通过对传感器单元制备工艺的不断摸索，解决了工艺过程中磁电阻条腐蚀、 Barber图形光刻与磁电阻单元制备各阶段的表面处理等关键的工艺问题，提高了 单元器件制备的成品率。 自制了传感器单元的测试系统并对传感器单元进行TN试。测试结果表明， 本文研制的AMR传感器试样具有良好的输出线性与较大的线性范围。 关键词各向异性磁电阻传感器，磁电阻薄膜，有限元方法，输出特性 第l页 垒!!翌!! ． ．—— on Sensor Research AnisotropieMagnetoresistiVe Abstact Chen Yan(Physicalelectronics) DirectedProf．Li by Jianping isoneofthemost anisotropicmagnetoresistive(AMR)sensor Recently,the Barber-Pole inthefield．TheAMR inwhich fieldsensors sensoL importantmagnetic filmare fabricated andAMRthin integrated，is throughmicroelectronic， has thin isadeviceofnew that and film technologies．It generation micromachining small of the of consumption，ease advantages size，highsensitivity,lowpow