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浅析精密及超精密机械加工技术 　　摘要：超精密机械加工是获得高形状精度、表面精度和表面完整性的必要手段。随着对高科技产品质量和多样化的要求日益提高，对超精密机械加工提出更多、更高的要求。本文介绍了几种主要的超精密加工技术及其应用范围、国内外研究现状、发展过程与趋势以及未来应研究开发的重要问题同时对超精密加工的技术发展趋势进行了预测。 　　关键词：超精密机械加工技术 表面加工 研究现状 发展趋势 　　一、精密及超精密机械加工技术概述 　　精密和超精密机械加工技术是现代机械制造业最主要的发展方向之一，已成为在国际竞争中取得成功的关键技术。这一方面是因为，尖端技术和国防工业的发展离不开精密和超精密加工技术，当代精密工程、微细工程和纳米技术是现代制造技术的基础，也是明天技术的基础。另一方面很多新技术机电产品要提高加工精度，这促使精密和超精密加工技术得到发展和推广，提高了整个机械制造业的加工精度和技术水平，使机械产品的质量、性能和可靠性得到普遍的提高，大大提高了产品的竞争力。 　　精密加工和超精密加工代表了加工精度发展的不同阶段。由于生产技术的不断发展，划分的界限将随着历史进程而逐渐向前推移，过去的精密加工对今天来说已是一般加工，因此，其划分的界限是相对的，并且在具体数值上至今没有准确的定义。 　　当前，精密加工是指加工精度为1～0.1μm、表面超糙度为及Ra0.1～0.01μm的加工技术；超精密加工是指加工精度高于0.1μm，表面粗糙度小于及Ra0.025μm的加工技术，又称亚微米级加工。但目前超精密加工已进入纳米级，并称为纳米加工及相应的纳米技术。 　　三、精密及超精密机械加工主要技术 　　精密和超精密加工包含三个领域：1.超精密切削加工；2.精密和超精密磨削和研磨；3.精密特种加工，如电子束、离子束加工等。 　　1.超精密切削 　　要实现超精密切削，切出超光滑的镜面，除要求超精密机床外，高质量的金刚石刀具是最重要的关键。超精密切削中，金刚石刀具的关键是刀刃必须磨得极其锋锐，即刀刃半径p值应甚小，这样才能切出高质量的镜面，加工表面粗糙度Ra0.01μm，表面层残留应力小，变质层小，并能实现极小的切削厚度。国外报导研磨质量最好的金刚石刀具，刃口半径可以小到数纳米的水平，而国内现有的金刚石刀具，刃口半径只能达到0.1～0.3μm。 　　2.超精密磨削 　　超精密加工发展初期，磨削这种加工方法是被忽略的，因为砂轮中磨粒切削刃高度沿径向分布的随机性和磨损的不规则性限制了磨削加工精度的提高。随着超硬磨料砂轮及砂轮修整技术的发展，超精密磨削技术逐渐成形并迅速得到发展。 　　（1）超硬磨料砂轮。超硬磨料砂轮是指由金刚石或CBN磨料制成的砂轮。金刚石砂轮适于磨削硬、脆有色金属和硬质合金、光学玻璃、陶瓷、宝石等高硬度、高脆性的非金属材料，CBN砂轮适于磨削淬硬钢、耐热合金和高硬度、高韧性的金属材料，两者相互补充几乎涵盖了所有被加工材料。 　　（2）超硬磨料砂轮修整技术。超硬磨粒砂轮具有优良的耐磨损能力，不需经常修整，但在初始安装和使用磨钝后修整却比较困难。传统的修整方法往往通过剪切和挤压作用去除磨粒达到修整的目的，修整过程难控制，修整精度低、砂轮损耗大。为此，国内外学者还提出了多种修整方法，如电解在线修整（ELID）、电化学在线控制修整（ECD）、干式（ECD）、接触式电火花修整（ECDD）、电化学放电加工（ECDM）、激光辅助修整、喷射压力修整、超声振动修整等。其中以ELID 技术最为典型，应用最为成熟。 　　四、超精密机械加工技术前景展望及发展趋势预测 　　1.国内本领域发展状况 　　我国1965年研制出镜面外圆磨床，加工圆度优于0.3μm，表面粗糙度Ra0.01μm以下。1968年研制成功单晶金刚石镜面车床，可使黄铜件的表面粗糙度达Ra0.025μm以下。20世纪70年代后期制成了高精度磁盘车床，主轴回转精度值优于0.2μm。进入20世纪80年代后，各个行业相继投入了更多的人力物力对超精密加工技术与装备进行了深入研究，陆续研制成功了超精密加工设备，特别是在20世纪90年代后期多家单位相继研制成功了非球面超精密加工设备，这标志了我国超精密加工设备的水平上到了一个新的台阶。但是和国外相比还有很大差距。如加工非球曲面的超精密车床还没有产品，高分辨率精密数控伺服系统和多路激光测量定位系统国内还不能生产，而国外对我们禁运，精密主轴部件、微位移机构、机床热变形和恒温控制技术、隔振防振技术、机床结构的稳定性等多项关键技术巫待研究。 　　2、发展趋势 　　首先，为追求加工精度的而生的精密和超精密加工将从亚微米级向纳米级发展，以纳米技术为代表的超精密加工技术和以微细加工为手段的微型机械技术代表了这一时期精密工程的方向。由于航