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2015年 2月 第 1期 金 刚石与磨料磨具工程 Feb．2O15 第 35卷 总第 205期 Diamond AbrasivesEngineering No．1 Vo1．35 Serial205 不同沉积功率对 CVD金刚石涂层性能的影响 邓福铭 ，陈 立 ，刘 畅 (中国矿业大学 (北京)超硬刀具材料研 究所 ，北京 100083) 摘要 利用热丝化学气相沉积法 (HFCVD)，固定其他工艺参数 ，通过改变沉积功率在 YG6硬质合金上 制备金刚石涂层 ，并利用扫描 电镜 (SEM)、洛 氏硬度计和 Raman光谱对涂层进行性能测试 。结果表 明： 两步法处理硬质合金基体 ，可以有效去除表层的Co，同时增大表面粗糙度 ，提 高金 刚石形核率，提高涂层 附着力；涂层表面形貌观察可知 ，沉积功率 4kw 时，晶形完整 ，晶粒大小非常均--j致密，晶面主要呈现金 刚石典型的(111)面生长；压痕测试表 明，当功率为 4kW 时，涂层 的结合力最好 ，表面均匀、平整 ；结合 Raman光谱分析 ，功率 4kw 时，涂层质量很好 。 关键词 化学气相沉积；金刚石涂层 ；表面形貌；附着力 中图分类号 TQ164 文献标志码 A 文章编号 1006—852X(2O15)01—000105 DoI码 10．13394／．cnki．gszz．2015．1．0001 Effectofdifferentdepositionpoweron thepropertiesofCVD diamondcoating DENG Fuming，CHENLi，LIU Ohang (InstituteofSuper—hardCuttingToolMaterials，ChinaUniversityof MiningandTechnol0g (Betjing)．Beijing 100083．China) Abstract Hotfilamentchemicalvapordeposition(HFCVD) method wasused to depositdiamond coatingon YG6 cemented carbide，by changing the deposition powerand fixing the otherprocess parameters．Scanningelectron microscopy (SEM )，RockwellhardnesstesterandRaman spectroscopy wereused to evaluate the propertiesof the diamond coatings．Results showed that the two—step pretreatmentcould effectively remove the surface Co ofcemented carbide substrates， increase the surface roughness，improve the diamond nucleation rate and coating adhesion．Coating surface morphologyobservedby SEM showedthatthecrystalshapewasintegratedwith uniform grain size， mainlyatypical(111)surfacewhendepositionpowerwas4kW ．Theindentationtestsshowedthatthe adhesionstrengthwasbestwithsmooth surfacewhendepositionpowerwas4kW ．Combinedwiththe Raman spectroscopyanalysis，thecoatingqualitywasverywel1． Keywords hotfilam