仪器中的真空技术与原理讲义.pptVIP

仪器分析中的真空技术与原理 目录 引言—仪器中使用真空系统的原因 真空的定义 真空系统的分类 真空系统的原理 1 2 3 4 我们常见的含真空系统的仪器有： 光电子能谱仪（XPS）、俄歇电子能谱仪（AES） 透射电子显微镜（TEM）、扫描电子显微镜（SEM）、低能电子显微镜（LEED）、离子散射谱仪（ISS）、二次离子质谱仪（SIMS） 一、引言 为什么这些仪器需要使用真空系统？ 由于电子、离子在空气中行进的速度很慢，所以必须有真空系统，否则，空气中运送的电子、离子与气体分子会碰撞而散射,使得电子或离子的平均自由程变小; 电子枪中的高压需要处于高真空中; 高真空可以延长电子枪中灯丝的寿命; 试样处于高真空中可以减少污染等。 二、真空的定义 1、真空的定义： 低于该地区大气压的稀簿气体状态 2、真空度 ： 通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。 3、真空度单位 通常用托（Torr），近年国际上取用帕（Pa）。 4、托与帕的转换 1托=133.322帕 5、平均自由程： 作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。 6、真空度的测量：若所测设备内的压强低于大气压强，其压力测量需要真空表。从真空表所读得的数值称