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STUDYoNAMICRO-KNIFEANDITSVIBRATIONSIGNAL SYSTEM
ACQUISITION
Jia-shan GUO
XU,Hang
SahMicro-NanoResearch 361005,China
Pen-Tung TechnologyCenter;,Xiamen,Fujian
Email:hangguo@xmu.edu.cn
Amicro.kni佗whichisdrivenbvtwobulkPzT4ce舢ic worksinanultrasonicvibrationmode.删s and
plates leng吐h
width m1 can resonant inthe
of也eselectedmicro-knife7mmand10mm estimate
respectively.Wb frequencies
directionand are227KHzand452
longitudinal the打柚sver∞direction,which KHz.Byimpedancemeasurement,the
resonanceandanti—resonanceof areobtained.Thenwecanchoose PZT_4todrive
frequencies
PZ¨plates proper plates
on
themicro-knifeandobservetheirvibration andaCCDdevice
usinghigh.powerdi颤talmicroscope precisionoptical
wasfoundthatif ofthemicro—knifeislinear isnO
vibrationisolationplatform.It theshape symmetrical.thereany
intransver∞direction。whileifthe ofthemicro.knifciS in
displacement shape unsymmetrical.thedisplacement
ffartsvelsedirectionwillOCCllrbesidesthe iSconsistentwiththe studied
longitudinaldirection。which theory.Atlast,we
micro.knivesvibration basedon locked
signalacquisitionsystem di百talsignalprocessing(DSP)andphase loop(PLL).
Thecircuitandsoftwareofthe were vibration resultWassimulated.Andwecall
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