cell不良.pptVIP

亮点，灭点 个数, 间距, 连续 成因： Active remain, S/D remain, Gate remain, P/T Invisible(不可见) 区分方法: 显微镜下看，哪层的remain，根据外形，颜色 发生在2个Line以上或X和Y发生Cross的现象 DDS：两条竖直的亮线 GGS：两条水平的白线 DGS：水平的暗线和一条竖直亮线?? 成因： 金属Remain 导电particle DGS中可以根据导电颗粒的 位置来确定短路处 SCRATCH在DATA PAD上发生 XY线看起来为亮线或灭线的现象 X?? ? ?（完全亮线） 跟contact missing的区别在于它的亮度不均 Y?? ?(薄线) 浅灰色的亮或者暗线，灰度不均，有的段很不明显 Gate set-Min 处确认 成因：ESD造成data和repair line 短接。 clean时候的pt造成open。 OPEN D-O： X线中间断掉的状态 成因 Chemical attack（AT） Particle Array DGS(-DO) Invisible 一段亮线，向一侧逐渐变浅 若 STORAGE LINE在中途断掉，则信号发生 DE