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无机非金属材料导论论文 标题：高性能CVD金刚石薄膜涂层刀具的研究进展 姓名: 罗 敏 一 学号： 2010440791 班级：无机普2010级01班 高性能CVD金刚石薄膜涂层刀具的研究进展 摘要: CVD金刚石薄膜涂层刀具制造设备投资小，性能价格比高，极富市场竞争力，因而可成为高效高精度切削加工有色金属及其合金、复合材料和硬脆非金属材料的最理想的新一代刀具材料。 关键词: CVD金刚石薄膜 涂层刀具 化学气相沉积法 刀具性能 1 引言 金刚石薄膜在力学方面具有许多独特的优良性能，它接近天然金刚石的硬度和耐磨性，具有低摩擦系数、低热膨胀系数、高热导率以及高化学稳定性等特性，从而使其在工模具和耐磨器件领域具有广阔的应用前景,已成为理想的刀具材料。 用金刚石刀具切削硅铝合金等硬质材料时具有加工精度高、切削寿命长、切削力小及加工效率高等优点。随着汽车工业的发展对金刚石刀具需求量越来越大，天然单晶金刚石和人造聚晶金刚石刀具制造工艺复杂成本较高，而用化学气相沉积方法在硬质合金表面生长一层金刚石薄膜制成的刀具具有金刚石的特性，而且制造简单成本较低，是较好的替代品。目前国内外研究单位都在积极开发金刚石薄膜涂层刀具，但未形成规模生产和应用，原因是涂层工艺基体材料及刀具几何参数还不能保证。 CVD金刚石薄膜涂层刀具是在刀具基体上直接沉积金刚石薄膜，因而适用于制造复杂形状的刀具。与其他金刚石刀具相比，CVD金刚石薄膜涂层刀具制造设备投资小，性能价格比高，极富市场竞争力，因而可成为高效高精度切削加工有色金属及其合金、复合材料和硬脆非金属材料的最理想的新一代刀具材料。 2 CVD金刚石薄膜涂层刀 具制备工艺-化学气相沉积法 (CVD) 化学气相沉积 (CVD)属于原子沉积类，是利用气态的先驱反应物通过原子、分子间化学反应的途径生成固态涂层的技术。基于此特点，CVD过程大多在相对较高的压力和较高的沉积温度环境下进行，因为较高的压力有助于提高涂层的沉积速率。较高的沉积温度可保证化学反应的顺利进行。CVD涂层工艺温度约为 1 000 ℃，结合力可靠 ，但也带来了一 些性能上的缺陷，如刀具切削刃需经过钝化预处理，刀具表面易出现残余拉应力，且不能用于高速钢刀具表面涂层；另外CVD技术的沉积温度太高，超过了许多材料的热处理温度，在这样高的沉积温度下。镀层和硬质合金基体材料都面临着晶粒长大和失碳问题，从而产生一种或几种复式碳化物 ，即所谓的η相 ，且通常生成在涂层和基体的界面特别是刃口上。这种相很脆，降低硬质合金的抗弯强度，同时增大刃口的脆性，从而导致刀刃在使用过程中过早损坏。 涂层表面状态和切削用量对金刚石薄膜涂层刀具损坏形式有很大影响。未研磨的金刚石薄膜涂层刀具表面较粗糙，切屑沿前刀面流出时摩擦阻力较大，切削铝合金等时被切削材料容易在前刀面粘附并进而形成较大的积屑瘤，切削过程中积屑瘤频繁脱落，将对金刚石薄膜产生周期性的剥离作用，从而容易使金刚石薄膜从基体剥落。相反，对金刚石薄膜涂层刀具前刀面进行适当的研磨后，切屑在前刀面的粘附大幅度下降，只在刀刃处有较小的积屑瘤产生，金刚石薄膜涂层刀具的切削性能得到极大提高，可以较高的切削速度进行长时间稳定切削 （图 ）7 切削用量对金刚石薄膜涂层刀具损坏形式的影响 2.1CVD金刚石薄膜涂层刀具原料 硬质合金 硬质合金是由难熔金属碳化物(wc，Tic等)和金属粘结剂(如Co)的粉末高温下烧结而成的，硬质合金可分为WC基和TiC基两大类。我国最常用的碳化钨基硬质合金有钨钻类和钨钛钴类。 (1)wc—co(YG)类硬质合金，这类合金由wC和Co组成。常用牌号有YG3X、YG6X、YG6、YG8等，含Co量分别为3％、6％、6％、8％，主要用于加工铸铁及有色金属。 (2)wc～Tic—co(YT)类硬质合金，这类合金中的硬质相处wc外，还含有5～30％的TiC。常用牌号有YT5、YTl4、YTl5及YT30，Tic含量分别为5％、14％、15％和30％，相应的钴含量为10％、8％、6％及4％，主要用于加工钢料。随着合金成分中Tic含量的提高和co含量的降低，硬度和耐磨性提高，抗弯强度则降低。与YG类硬质合金比较，YT类台金的硬度提高了，但抗弯强度、特别是冲击韧性却显著降低。 (3)WC—TiC—Tac(NbC)一Co(YG)类硬质合金，这是在YT类硬质合金成分中加入一定数量的Tac(Nbc)，常用牌号有Ywl和Yw2，加入Tac(№c)可提高抗弯强度、疲劳强度和冲击韧性，提高合金的高温硬度和高温强度，提高抗氧化能力和耐磨性，这类合金既可加工铸铁和有色金属，也可加工钢，因此常称为通用硬质合金。 以上三