SU6600_培训笔记讲稿.doc

SU6600 扫描电镜操作手册 SU6600主要硬件： 电子光路系统：热场发射电子枪（FE Gun）、聚光镜光阑（Anode Aperture）、物镜光阑（OBJ Aperture） 样品马达台：实现样品台X轴（0~110mm）、Y轴（0~110mm）、Z轴（4~40mm）、样品台R旋转（0° ~ 360°）和T倾转（样品standard状态下-5° ~ +70°）。 真空系统：场发射腔、样品室（SC）、样品交换室（XC）、离子泵（IP1、IP2）、涡轮分子泵（TMP）、机械真空泵（RP1、RP2）。 检测装置：二次电子探头（SE）、背散射电子探头（BSE）、能谱（EDAX）。 一．开机事项： 确认实验室工作环境正常（房间无异味、无异常声音）。 确认电子枪工作正常（镜筒“FIL”灯是否亮）。 二．制样及注意事项： 确认样品无磁性，如果要做有磁性的样品，需经设备负责老师同意。（操作过程中可点击“Degauss”按钮消磁） 确认样品没有挥发性，以免污染样品室，或者破坏仪器的真空环境。 样品确认清洁干净。 非导电样品可考虑喷金。 在粘结试样前必须佩戴手套，禁止用手直接接触样品台及样品台底座，避免污染样品室。 样品必须粘结保证牢固，以免掉在样品室内。 确认样品上表面高度（如有多个样品，取其中最高值）与“Standard”位置之