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用于神经电信号记录的多通道微探针.pdf
第19卷第5期 传感技术学报 V01．19No．5
CHINESE OFSENSORSANDACTUATORS
2006年10月 JOURNAL Oct．2006
AMultichannelforNeural
MicroprobeRecordings
SUI Ruo-xin，PElWei—hua，LULin，CHEN
Xiao—hong’，ZHANG Hong—da
(State on SemiconductorsChinese
KeyLaboratoryIntegrated of AcademyofSciences，Beqing
Optoelectronics，Institute
Abstract：An seven-channelsilicon-substratewas forcorticalneural
implantable microprobedeveloped sig—
nal micro-electromechanical licon
recordingsby dioxide／silicon
system(MEMS)technology．Si
the the ofinsertiontraumaand com—
microprobe
consideringbiocompatibility，minimization
detailedfabricationwasoutlinedwithfourmasks electronmicro—
plexity，etc．The process used．Scanning
showedthatthe shankwas3mm wideand20mthickwiththe10
scope(SEM)imagesprobe long，100弘m
1 for the
circle sites isolation．Tofacilitate
recordingspaced apartgoodsignal penetra—
弘m—diameter 20／．tm
and was
tion minimizethecorticaltrauma，the as6 ofthe
probetiptaperangledesigneddegrees．Theplot
site versus wasshowntestinvitroandthe declines
singlerecordingimpedancefrequency by impedance
10
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