第二章 薄膜制备技术基础-1幻灯片.pptVIP

第二章 薄膜制备技术 ;第一节 基体的选择与基片的清洗方法 ;（1）是否容易成核和生长成薄膜； （2）根据不同的应用目的，选择金属 （或合金）、玻璃、陶瓷单晶和塑料等 作基体； （3）薄膜结构与基体材料结构要对应； （4）要使薄膜和基体材料的性能相匹配，从而减少热应力，不使薄膜脱落； （5）要考虑市场供应情况、价格、形状、尺寸、表面粗糙度和加工难易程度等。 ;（二）基片的清洗;2、基片的清洗方法;第二节 真空技术基础 ;一、真空的概念 ;二、真空度的单位;三、真空度的划分;;四、真空的基本特点 ;五、稀薄气体的基本性质 1. 在真空下，当气体处于平衡状态时可以使用物态方程加以描述，即：P=nkT 2. 符合三个过程方程 a.玻义尔定律： PV=C b.盖-吕萨克定律： V/T=C c.查理定律： P/T=C ;速度分布函数为 ：;4. 气体分子运动的几种平均运动速度 a.气体分子的最可几速度Vm(讨论速率分布) ;室温下, 压强为 10-9 torr时氮分子的平均自由程50km。因此体积有限的超真空系统中，气体分子之间或气体分子与带电粒子之间的碰撞都可以近似忽略。;6、单位面积上分子与固体表面碰撞的频率： ;7、克努曾定律或余弦定律： ;8.气体的吸附与脱附;9.电子碰撞气体引起的电离;10.气体的流动状态;平流（层流）：随气体压强和流速的逐渐降低，流动由具有不同流动速度的各个流动层组成．宏观流速矢量与管轴平行，流动与气体的粘滞性有关，称为平流。平流和湍流都属于粘滞流。 分子流：当压强进—步降低，气体分子的平均自由程增大，分子间的相互碰撞减少，分子与管壁的碰撞占主要地位，分于间的内摩擦消失，气体分子以热运动而自由地独立地直线前进，这种流动被称为分子流。;判断粘滞流与分子流的Knudsen number(克努森数):;判断平流与湍流的雷诺数：;11.蒸发和凝结;在本课程中定义的蒸汽和气体 凡临界温度高于室温（15℃~25 ℃）的气相，称为蒸汽 其特征是在室温下加压可液化。如水蒸气，金属蒸汽 凡临界温度低于于室温（15℃~25 ℃）的气相，称为气体 其特征是在室温下加压不可液化。如氢气，氮气 以上分类的主要原因是 :蒸汽加压液化，液体减压气化会对 系统的真空度产生影响。 ;（3）饱和蒸汽和不饱和蒸汽 饱和蒸汽：汽液平衡共存时的蒸汽。 非饱和蒸汽：单一蒸汽存在。 饱和蒸汽不符合理想气体物态方程，但符合克 拉珀龙方程。 不饱和蒸汽符合理想气体物态方程。 ;第三节 真空系统 ;2.真空系统的组成;3.表征真空系统的几个参数;;(4)泵抽速S 泵入口处单位时间抽入的气体体积 ;实际抽速的计算： S=Q/P=截面积*流速;真空计的位置;（7）极限真空度;分离变量，积分得：;第四节.抽真空和抽真空设备;3.抽真空和抽真空设备;（1）旋转式机械真空泵;工作过程： 气体从入口进入转子和定子之间 偏轴转子压缩空气并输送到出口 气体在出口累积到一定压强，喷出到大气 工作范围及特点： 大气压?10-3 torr 耐用，便宜 油润滑，污染;旋片式机械泵工作示意图;理想情况下，旋片转动半周后，腔体内压强：;;特点: 1.体积小、重量轻、结构简单工作可靠、经济耐用。 2.设有气镇阀，可抽除少量水蒸气；但降低系统的真空度。 3.不适用于抽除对金属有腐蚀的，对泵油起化学反应、含有颗粒尘埃的气体，易燃易爆的气体。 4. 抽真空的能力不好。 5.润滑油的回流和会发会对真空系统造成污染。 ; (2)扩散泵;（一 概述）;（二）　油扩散泵工作原理;扩散泵的压缩比 ;讨论： ;（三 ） 油 扩散泵特点;(3)涡轮分子泵; 涡轮分子是靠高速转动的转子携带气体分子获得超高真空的一种机械真空泵。工作压力范围为1Pa~10-8Pa 。 先进的泵可以获得10-9Pa的极限压力。 泵的转速为10000r/min~50000r/min,这种泵的抽速范围很宽，在九个数量级间具有恒定的抽速。 分子泵主要用作超高真空泵和高真空泵，单它不能直接对大气排气，需要配前级真空泵。 分子泵对较轻气体抽速很大，对氢的抽速比对空气的抽速大20%。;（二）涡轮分子泵工作原理;1.泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。 2.分子量大的气体有高的压缩比。 3.涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态)下工作才能显示出它的优越性,因此要