光学扫描快速扫描应用驱动反射镜设计.pdfVIP

技术交流 I EXCHANGE 光学扫描:快速扫描应用驱动反射镜 设计 David Brown Cambridge T民hnology岛Hartwell Ave. ? LexiJ1gton ,MA. USA E-maU: dbrown配M由 1 引言 成功的扫描需要将反射镜、镜座和电机集成子M 立方(M Cubed)系统中。 应用于扫描的反射镜必须 具备低惯性.同时满足动态平面度和充分徽热的要 求。 快速扫描意味着激光光束要有校宽的带宽.这就 常耍应个妇铺系统具有抗扰性。而反射镜基底彷料、 电机和电机连接装置、最小惯性结构 、徽热设计和激 光损伤阀值等因素也会影响集成的是终效果。 因此， 设计者必须仅衡考虑材料、机械装置和各种扫描参 数，才能使系统发挥最佳工作性能。 2 反射镜表面和基底 反射镜或者反射镜组的质量与反射镜设计给定 的口经成正比。 因此，设计反射镜肘必须想方设法减 小反射镜的口径。 反射镜表面的各种传统参数，如平面皮、反射率、 表面质量、耐久性和散射之间都有密切的关系。 激光 束的商能量和反射镜表面所能承受的商能量密度之 间的权衡问题也越来越受到关注。 传统的基底材料，除了镜用含金之外.就是典型 的孩璃材料了。 尽管玻璃的硬度 、弹性和非品结构可 以满足需要.但是它易脆，导热系数和热膨胀系数也较 低。一些玻璃的损耗正切角很低.很难通过设计消除菠 璃在使用中受到的振动。 扫描系统中激光束的离加速 度致使扫描系统的阶梯函数变化校大。 因此，反射镜等 系统元件的振动模式都可以被模拟出来。 如果振动零 件中存在或伴有显著的固有阻尼，系统的响应就会减 慢，因此，理想的反射镜基底材料要具有非品体特性或 者至少是无纹理的各向同性结构.同时还婆有高硬度、 高热传导性和大低损稳切角的特点。 张量模度和反射镜材料是度量动态反射镜适配 性的两个关键因素。 用张量筷度除以反射镜材料密度 可以得到动态稳定度。 动态稳定度是衡量-个系统性 能的理想化参数.动态稳定度越高，系统位能越好。 阁 I 是一些商用反射镜基底材料按照动态稳定度大小排 列的分级图。 对于大部分扫描应用系统.高激光能量 和高加速度使得反射镜基底的候选材料必须具有足 够高的热传导性.所以动态稳定度和热传导饨的乘m、 可以作为选梯最佳性能基底材料的良好标准，乘积越 大，材料性能越好，如刨 2所示。 ; t 、 ‘ \ \ \ .a:蝇 e 宜!O.，... 。1帽 .化· 品 喃 t m 化 而 现 ··‘ ? ? ? 蛐 w 削 叫 Mh .lj.a.ll: Alllut (U‘自可 ~k!)toxr、 lI!l1(te 组，，~时A咽.. ...... 咱 11比;4t (IM.H .躏((U I，归K电.) A叫 ‘仕键。圄可尔回_.. 击117，... , 审副化·他植 领他- .u....\I... Il..由6 鑫响4 ..住-.，. :啪 411-幅 -S砂缸 OC ;-)il幢 2 )1 ICt .t沉 lU ~. (1树 10M 曲J.? .Ii!1f 回 1 商用反射镜底材料按照动态.~度 大小的分级 中国光学期刊同刷刷.opticsjωmal. net ~ I 技术交流 I EXCHANGE 型的I! 倍直(i~ ~化越 a AlBe~le[银镀合主 饭 在I!l侦 由 2 -些反射镜材料动态稳定度和热 传导性的爱积 3 膜层和激光损伤 反射膜能够附着在基底上，主要是由于范德瓦耳 斯力。 镀膜材料(不仅是金属 )都非常薄，厚度一般为 1∞ nm，所以实际上不管材料的m体导热率有多大， 他们基本不具有横向热传导性。 因此.脱层通过基底 层来移除沉积在表面上的能量。 所有的膜层都会泄漏 因此会吸收相当多的能 量。 假设有一面反射镜，其反射率为 99.9%.吸收功率密 度为 0.5 W/cn代可以承受一束功率密度为日)() W/cm2 的特定激光照射。 如果用铝作为膜层材料，假设铝膜 的厚度为 1∞ nm，受热后的体积为 10-7 时，总热比 大约为 2x lO-~ JIK。 在这种情况下，由于膜层缺少足 够的导热性，无法将热量转移到基底上，就可能会被 然友。 除了用来吸收反射膜层的热量，基底还必须具有 足够高的热膨胀系数以防止膜层在基底上起泡。 硅 和金刚砂具有高的热传导性，但是其热膨胀系数还是 在埋在精材料范用肉 。 在真实写镀膜过程中.基底会通过 辉光放电彼加热到 2∞。C 来清情材料表面。 当基底 温度被冷却到i室温且其热影胀系数比腹层的稍微离 一些时.艇层就会被压缩。 适当的压缩效应是必要的， 因为当反射镜在使用过程中变热时.压力就会随之消 失。 此外，大部分的膜层材料都为金属或金属氧化