光束扫描检测法及二维快速激光扫描系统.pdfVIP

第 30 卷 第 4 期 激 光 与 红 外 Vol . 30 No . 4 2000 年 8 月 LASER INFRARED August ================================================================== 2000 文章编号 : 1001-5078( 2000) 04-0211-03 光束扫描检测法及二维快速激光扫描系统 成向阳 王海虹 李 宁 尚铁梁 王 骐 ( 哈尔滨工业大学光电子技术研究所 哈尔滨 150001) 摘 要 : 提出了一种检测光束扫描性能的方法 并用于光机扫描 测量几种频率下 指令函数为 三角波和锯齿波时 M 3 检流计式振镜扫描器的扫描函数 并在这种检测方法的支持下 建立了 一个二维快速激光扫描系统 关键词 : 扫描性能 ; 检测方法 ; 快速扫描 中图分类号 : TN 206 文献标识码 : A A Method of Measuring Beam Scans Function C~ENG iang yang WANG ~ai hong LI Ning S~ANG Tie liang WANG Oi ( Institute of opto - Electronics ~arbin Institute of Technology ~arbin 150001) Abstract : This article brought up a method of inspecting the property of the scanner and applied the method to optic - mechanic scanner Scanning functions of M 3 galvanometer scanner under the drive of tr iangle - wave and saw - tooth - wave instruction functions of several f reguencies were measured . Under the supporting of this method we established a two - dimensional rapid - scanning laser system . Key words : scanning property ; inspecting method ; rapid - scanning . 1 引 言 一般扫描器是在某种信号的控制下以某种轨迹 进行扫描运动的 我们把扫描器的实际运动位置 O 随 时间 t 变化的函数称为扫描函数 O = O ( t ) 而把扫描 器的预期运动位置 6 随时间 t 变化的函数称为扫描 指令函数 6 = 6 ( t ) 其中 O ~ 6 代表扫描角度 t 是扫描 时间 常用的扫描指令函数有锯齿波 ~ 三角波和简谐 波 前两种是线性扫描 后一种是非线性扫描 无论哪 种扫描器 在它实际扫描过程中 扫描函数与指令函 数之间总是存在或大或小的误差 也就是说扫描器的 实际运动轨迹与要求的轨迹有差异 低频时偏差小 对实际应用影响不大 而在较高频率时 差异之大可 能会使扫描器达不到预期的功能[6 7] 因此有必要实 测扫描函数 目前尚未见报导测量扫描函数的方法 在本文 中 我们提出了一种切实可行的测量扫描函数的方 法 并把这种方法应用于本实验室的 M 3 系列检流计 式振镜扫描器 进行了一系列相关的测量研究 我们 建立了一个二维快速激光扫描系统 获得了均匀分布 的 32 32 扫描点阵 每秒 10 帧 可用于激光雷达等要 求快速扫描的系统中 2 扫描函数测量方法 根据扫描函数的定义 很容易想到的测量方法 是 : 用两个接成 或 逻辑的光电二极管 一只放在扫 描线一端 另一只在扫描线上移动 测量并记录每次 移动的距离 ( 扫描角 ) 和光经过两个管的时间 依此来 测扫描函数 这种方法的缺点是精确测量两管间距的 设备比较复杂 只能说是一种原理简单而实现起来并 不容易的方法 另一种方法是 : 把若干个接成 或 逻 辑的光电二极管做成间隔均匀的阵列 测量并记录输 出的电脉冲时间间隔 依此来测量扫描函数 这种方 法避免了移动光电管位置的麻烦 但是又增加了线路 的复杂性及对各光电管对称性的要求 而且光电管阵 作者简介 : 成向阳 ( 1!71 ) 女 硕士 讲师 现主要