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光学元件的镀膜
镀膜工艺
电子束蒸镀
光学元件的镀膜不仅需要完善的设
备,全面的镀膜工艺才能定制不同
类型的薄膜,满足各异的需求。
离子辅助电子束蒸镀
离子束溅射
光学元件基底
右图为10种常见基底的透
射波长范围,可先根据需
求选择不同的基底
N-BK7玻璃
UV熔融石英(UVFS)
N-SF11玻璃
氟化钙(CaF )
2
氟化钡(BaF )
2
蓝宝石
硅(Si )
硒化锌(ZnSe )
锗(Ge)
氟化镁(MgF )
2
光谱薄膜
光谱薄膜可以用于选择透过光的波长,或衰减透过光的能量,是制备
滤光片的主要工艺。
带通滤光片 截止滤光片 二向色分光镜 陷波滤光片 中性密度衰减片
长波通透过大于截止 45⁰角使用
带阻滤光片
透过一个狭窄的光谱 波长的光谱; 透过大于设计波长的
阻挡特定波长范围的 均匀衰减透射光
范围 短波通透过小于截止 光,反射小于设计波
光
波长的光谱 长的光;或反之
增透膜
增透(AR)膜是一种硬质耐热氧化膜,可在特定波长范围内将元件表面的反射最小化。
未镀膜的情况下,光学元件每个表面由于反射回产生约4%的能量损耗。如果3个未
镀膜的透镜组合使用,则在6个表面都会发生反射,实验测得,光通过透镜组后共
损耗21.7%的能量。
约4%反射 约4%反射 约4%反射
约4%反射 约4%反射 约4%反射
如果存在增透膜,每个表面的反射将小于0.5%,因此镀增透膜可使该光学系统的透
过率从78.3%提高至97%。
增透膜
根据波长范围,我们将增透膜分为宽带增透膜(BBAR)和V型增透膜。并以英文字母
编码。下图可看到每种增透膜的波长分布。
宽带增透(BBAR)膜包含多个膜层,
以材料折射率高低相间隔分布。通
过建模软件,每一层膜的厚度都被
优化,就可以改善光学元件在特定
波长范围内的性能,并减小元件内
部反射(鬼影)。Thorlabs 目前提供
的增透膜可以在7个不同的波长范围
内优化光学元件性能。
V型增透膜是一种多介质层的厚增
透膜,设计用来在短波长范围内减
小反射。V膜因反射率曲线呈现”V”
字形而得名,在特定波长内可实现
更低的反射率。我们目前提供3种不
同的V膜。
增透膜—BBAR
宽带增透膜(BBAR)对应的入射角在0°到30°之间,数值孔径(NA)为0.5。
以下为7种类型增透膜的波长范围及特性曲线,阴影部分为推荐使用的波长。
编码 UV
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