用散射光测量正弦表面粗糙度参数的反计算问题.pdf

维普资讯 第 ¨卷第 d期 洛 阳 工 学 院 学 报 Vo1．14 ‘ 1993年 l2月 Ja 0fhⅫ lnstitu．~ofh 帅 Dec． 1993 (赍料法 I号；111741． l~84 用散射光测量 、 ∈一 正弦表面粗糙度参数的反计算问题 墨虫一 (郑州航空学院) ■要，车文利用光的角戢射分布技术．—般性地解决了正弦表面粗植皮参数的反计算问题．其方法墨首先利用 B∞ n-m掌咄 的光献身十标量理沦 ·计算出光的角敢射分 眦 强．根摘懈 方程．得弹表面靶廓的平=崎谴长 ．根据角戢射_分布 光强的标准偏差 ，拽刊了平均料丰 山与 之间的关系．从而得到山的反计算值．再由山， 与平均粗艇度届之问的关 ， 表面一 角 布 ． 关蝴，光学技术正弦表面表面相糙度参敷角散射分布反计算．粗拖tL季 0 前言 表面粗糙度影响的范围相当广泛，它直接或间接地影响着产品的质量和使用寿命，因此 不仅在传统的摩擦、磨损和润滑颁域中，而且在密封、流体力学、接触力学、半导体电子学、电 和热的传导等领域都 日益受到关注，对表面粗糙度的涮量也随之提出了更高的要求。由于传 统测量技术的局限性。已无法完成 自动化生产中实时、在线、高速测量的要求。用光的散射技 术测量工件表面的粗糙度参数是近几年来发展起来的测量技术。它的优点是不接触、区域平 均、测量迅速等，特别适用于自动化生产中在线测量工件表面的形貌．然而，从光的散射信息 中直接得到表面粗糙度参数(高度的、间距的或混合参数)值的反计算问题仍末得到很好解 决Ⅲ。为此，本文应用仿真技术，探讨从光的角散射分布的信息中，解决正弦表面粗糙度参 的反计算问题。 l 理论模型 假设照在工件表面的入射光是匀强平面波，且电场 和电场对表面的法向导数可以用表面反射系数来表示。 反射系数与该表面的形貌无关。如图1。假定表面是二维 的，即在z轴方向是粗糙的，在 轴方向是光滑的。入射 光的平面波用与表面平均面的法向向量 ；成入射角 的 -航空科学基金资助项 目 马义中t男，1963年生 ．讲师 收稿 日期 ：1992-~-16 维普资讯 第 ●期 马义中 甩散射 计算I可曩 ·77 · 矢量豆 表示，在表面上的入射电场 最的函数解析式设为~xp(jK,·r)，散射电场用与散射 光矢量噩有关的散射角 表示，记为 )。矢量r表示坐标原点到入射光点的矢量。 基于上面的假定和考虑，散射电场可表示为在散射幅射场中的夫朗霍夫区内散射角 的函数，即 日一 (以)。设表面轮廓为z()，则相积分为∞ 珊 )= 。 (1) 其中 P一噩一丘。L为沿 轴方向照亮区域的长度．r一矗+z0)I，i、1分别为沿 轴方向， z轴方向上的单位矢量．西是与散射角 以无关的量。P·r一 [ +dn以)+(。o + oo )z()]。^为入射光的波长。 、分别为入射角和散射角。这样散射光强，最终可表示 为散射角 的函数 ， )，即远场的光强[”。 ，(以)一 IcvF(e,，以)，(，以)I (2) 其中F，以)= ，，(，以)一圭ILieff-gdx。 2 实验装置和测量原理 我们所用的仿真实验装置，是在 美国国家标准局新