疏水性对溶胶-凝胶SiO2薄膜抗真空污染及抗激光损伤能力的影响.pdfVIP

第 29卷第 7期 无 机 化 学 学 报 V01．29No．7 2013年 7月 CHINESEJOURNALOFINORGANIC CHEMISTRY 1339—1344 疏水性对溶胶一凝胶 SiO2薄膜抗真空污染及抗激光损伤能力的影响 刘 源 -，2 沈 军 ，1 李晓光 1 周 斌 张志华 1 1同济大学物理科学与工程学院，上海市特殊人工微结构材料与技术重点实验室，上海 200092) 2上海理工大学理学院．上海 2000931 摘要 ：以正硅酸 乙酯作为前驱体 ．利用碱催化方式制备 了SiO，溶胶 ．通过在溶胶 巾添加含疏水基团f—CHz)的六 甲基二硅氮烷 (HMDS)X~溶胶进行改性 ，使用添加不同物质的量 比HMDS改性后的溶胶用提拉法在 K9基片上镀膜．获得了具有疏水性能的 SiO 薄膜。采用 自制接触角测量仪、紫外一可见一近红外分光光度计研究了薄膜的水接触角和透过率 测试 了薄膜的激光损伤 阈 值 ．并观察了激光辐照后薄膜 的损伤形貌 通过真空污染实验对薄膜的抗污染能力及抗激光损伤能力进行 了研究 实验结果表 明：经疏水改性的溶胶所镀制的薄膜激光损伤阈值 由未改性样品的24．3J．cm-2增加到 37J．cm-2(1064nm，10us)，且抗真空污 染能力大大加强：在真空环境下保存 168h后 ．未改性样 品的峰值透过率下降了2％．而疏水改性后的样 品峰值透过率仅下降了 0．25％，并保持了较高的激光损伤 阈值(30．8J．cm2) 关键词 ：溶胶一凝胶 ；SiO 薄膜 ；疏水处理 ；激光损伤 中图分类号：0484 文献标识码：A 文章编号：1001—4861(2013)07—1339—06 DOI：10．3969／j．issn．1001—4861．2013．00．233 EffectofHydr0ph0bicityontheVacuum-ContaminationResistanceandLaser DamageThresholdofSol-GelSilicaCoating LIU Yuan， SHENJun LIXiao—Guang ZHOU Bin ZHANGZhi—Hua (ShanghaiKeyLaboratoryof ecialArtfiiciNMicrostructureMaterialsandTechnology,SchoolofPhysicalScienceand Engineering,Tont~iUniversity,Shanghai200092，China) (CollegeofScience，UniversityofShanghaiforScienceandTechnology,Shanghai200093，China) Abstract：Silica antireflectivecoatingsmodified by hexamethyldisilazane fHMDS1weredeposited on clean substratesby so1．gelprocess．TheeffectsofHMDSon thecontaminationresistantcapabilityand laser．induced damagethreshold (LIDT)ofcoatingswereinvestigated．Withthemodifiedsoltheresultantcoatingswere hydrophobicandthecontactangleforwater increasedwith the increasingamountofHMDS in thereaction mixture．TheantireflectivepropertieswereretainedafterHMDS—treatmentandthetransmissionmaximum values wereabove99％．Theint