多晶硅生产氢化氯化工艺标准探析.pdfVIP

fk . 1 1) I I I 」 γ lb_ 标准建设 多晶硅生产氢化氯化工艺标准探析 杨紫琪，杜鹊 (青海黄河上游水电开发有限责任公司光伏产业技术分公司，青海 西宁 810000) 摘要 : 本文简单介绍了改良西门子法多~硅生产工艺，着重介绍了 氢化氯化装置的反应原理及工艺流程。 关键词: 多品硅 j 氢化氯 i 工艺标准 中图分类号: TQ127.2 文献标识码 :A 目前，多晶硅材料主要应用于半导体及太阳能光伏 是利用四氯化硅(以下简称STC) 、 冶金级磁粉、和纯净 产业。特别是在当今能源自趋紧张、环境压力日趋增大， 的氢气反应生产三氯氢磁(以下简称TCS)。 可再生能源太阳能的开发受到了越来越多人的重视。太 其反应方程式为 : 3sicl4 + si + 2吨 = 4siHcl3 阳能光伏产业的发展使得太阳能市场供不应求e 而作为 STC 为低压氟化及还原工序的副产物，原料氢气则 太阳能产业的基石多晶硅也被大量生产。目前行业内普 来源于氢气制备。利用沉降、汽提等一系列反应出去目 遍采用改良西门子法进行多晶硅的生产，其生产过程主 标产物TCS 中的杂质，同时根据STC 和TCS 的沸点不同， 要以下几个流程 : 氢气制备，氢化氯化工序、精馆工序、 利用蒸馆塔进行蒸饵，最终得到纯度为 85% 的的TCSo 还原工序、后处理工序等，具体如图 1 所示。但是由于 技术封锁等原因，我国的多晶硅生产从能提到质量等都 2 改良西门子法氢化氯化工序工艺流程 与美、 日 、德有较大的差距。一条低成本的制造路线是 由于上述反应并不是完全的反应，大量的未反应 国内多晶硅行业都在探索的道路， 而想要得到低成本的 的硅粉、 STC、 乓等，以及副反应产生的金属氧化物， | | 多晶磁我们首先要得到廉价的三氯氢硅。目前三氯氢硅 sicl 鸟， 会进入后续流程，氢化氧化装置的目的是通过一 2 命 ? 的合成技术主要有热氢化及冷氢化两种主流技术，但