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- 2017-06-30 发布于天津
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见光发射来-无机材料学报
第 第 期 无 机 材 料 学 报 ,
月 目 ,
‘
多 孔 硅 的 高效 可 见光 发射来 自其 表 面
周 咏东
中 国科 学院上 海技 术物 理 研 究 所 上 海
金亿 鑫
中 国科 学院长春物 理 研 究 所 长春
摘 要
用 扫 描 电镜继 续对发光 多孔 硅 的阴极射 线发光进行 了系统 的研 究, 得 到 了其 阴极荧
、
光发射部位 强度分布显微 照 片, 发现 在样 品 的表 面层 脱落处 暴露着 多孔层 大量微孔
无 阴极射 线发 光 产生 , 只 有 表面层 未脱 落处才有 阴极射线发光 对样 品的截面 实验研 究
、
同样清 楚地表 明多孔 硅样 品 的 阴极射线发光 只 来源 于 其表 面 层 , 多孔层 硅 单 晶衬底 区
域不发生 阴极射 线发 光 实验还提供 了阴极射 线发光强度 在截 面上 随深度变化情况 显微
照 片 阴极射 线发光 光谱表 明其光谱 峰值位置在 处 , 相似于 多孔硅 的光致 发光
实验 结果再 次表 明多孔硅 的可 见光来源 于其表面层 中的荧光物质
关 键 词 多孔 硅 , 光致 发光 , 阴极射 线发 光 , 扫 描 电镜
引言
多孔硅 的高效可见 光发射 唤起 了人 们可 以直接在成熟 、 廉价 的硅材料上 实现 简单 的高
效可见光 发射 的梦想 【〕利用历史上对 多孔硅 结构 的研 究结果 、 现代高技术手段和 对量子
阱 、 超 晶格材料研 究 的成 果 , 人们可 以很 自然地 假设 多孔硅 的可见光 发射是 因形成 了特殊
的纳米 量级硅 柱 状结构 中的量 子 限制效应所致 国 内外许多研 究人员做 了大量 的研 究工
作 , 对多孔硅 发光机理进 行 了深入 的研 究, 但 至 今还没 能形成 统一 的观 点 本研究小组做
了大量 的研 究工作 , 不 但用 常规 的方法制 备 出 了发射 高效 可见 光 的多孔硅 样 品 , 而且成功
地 从发光 的多孔 硅样 品表 面用 非化 学 的方法取 出了粉末状 荧光物 质 , 该荧光 粉末 的光致发
光光谱 同于 原多孔硅样 品 的光致 发光光谱 , 且研 磨后仍 能发 出同样 的可见 荧光 随后 的
射线光 电子谱分析表 明, 此 时 的发光 多孔 硅样 品表 面含 有大量 的非硅元素, 硅 的原子数 只
占 左右 未计入 氢元 素 上述 实验说 明 了多孔 硅 的高效可 见 光发射来 自其制备过
程 中产 生 的这种 粉末状荧光物质 ’
我 们 除 了在单 晶硅 的抛 光面和 未抛 光面用 常规 的 电化 学方法制备 了发光 的多孔硅样 品
外 , 还 成 功地 用 同样 的 电化学方法在未抛光 的多 晶硅表 面获得 了均 匀 发射可 见光 的样 品,
其发光光
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