zemax设计显微镜课件.ppt

4.2自动优化 首先，建立自动优化函数。具体过程如下：选择Editors Merit Function，弹出 Merit Function Editor 对话框，在Type栏中输入EFFL，并将Target定为6.930840， Weight值取1.0； 其次，选择Merit Function Editor对话框工具栏中的ToolsDefault Merit Function, 设置Optimization and Reference为RMS～Wavefront～Centroid； 最后，选择opt按钮进行自动优化。 自动优化后，显微镜物镜结构的数据如下： 经过自动优化后的显微物镜的结构、传函以及像差如图4-2所示。此时，像方数值孔径NA=0.37333,传递函数接近于衍射极限，成像质量较好，基本上达到设计的要求。 初始结构各参数仿真图 自动优化后各参数仿真图 4.3 物镜的光线像差(Ray Aberration)分析 通过光线特性曲线来分析光线像差，以显示关于入瞳坐标函数的光线像差。本次设计的物镜系统的光线特性曲线如图4-3所示。 图形以光瞳坐标的函数形式表示了横向的光线像差（指的是以主光线为基准）。左边的图形中以“EY”代替εY。这是Y方向的像差，有时也叫做子午的，或YZ面的。右图以“EX”代替εX，有时也叫做弧矢的，或XZ面的。从此光学特性曲线可以看出，光线特性曲线在Y方向视场角度为0度时通过原点的倾斜不大，表示离焦现象不明显，基本符合设计要求。 物镜的光线特性曲线图 4.4 物镜的波像均方差(OPD)分析 在接近衍射极限的光学系统中，波像均方差是像质的敏感函数，要求显微物镜聚焦精确、像质好、必须对球差、慧差和像散进行校正，从而使得波像均方差在一定的允许范围内，一般要求物镜的波像均方差在0.05以下。图4-4所示为显微物镜的波像均方差数值图。  显微物镜的OPD图 4.5 物镜的光学传递函数(MTF)分析 光学系统是线性系统，而且在一定条件下还是线性空间不变系统，因而可以用线性系统理论来研究它的性能，把输入信息分解成各种空间频率分量，研究系统的空间频率传递特性即光学传递函数，它能全面反映光学系统的成像性质。FFTMTF是用快速傅立叶变化 算法计算的MTF，是一种物理传递函数，即考虑光学系统的衍射效应，一般的成像光学系统都可用它来评价。此时的传递函数接近于衍射极限，成像质量好。图4-5为显微物镜的光学传递函数图。 显微物镜的MTF图 4.６ 最终仿真参数分析原始物高设定如下： 最终仿真参数如下： 由图可看出： (1)物方数值孔径NA=0.37333，与要求的0.4很接近； (2)初始设定的物高为12.5,仿真所得像高为0.497，则放大倍数m=1.25/0.497=25.1,与要求的放大倍数25倍十分接近。 最终的仿真参数基本符合设计的要求。 5心得体会 。 25×显微镜物镜设计 技术要求： （1）学习zemax软件。 （2）设计一个25×显微镜物镜，要求所设计的系统成像清晰，显微物镜放大倍率为25×，物方数值孔径NA=0.4，物高为1mm左右。 （3）对所设计的显微镜光学系统进行zemax软件仿真工作。 物镜是显微镜最重要的光学部件,利用光线使被检物体第一次成象,因而直接关系和影响成象的质量和各项光学技术参数,是衡量一台显微镜质量的首要标准。 物镜的结构复杂,制作精密,由于对象差的校正,金属的物镜筒内由相隔一定距离并被固定的透镜组组合而成.物镜有许多具体的要求,如合轴,齐焦. 现代显微物镜已达到高度完善,其数值孔径已接近极限,视场中心的分辨率与理论值之区别已微乎其微.但继续增大显微物镜视场与提高视场边缘成象质量的可能性仍然存在,这种研究工作,至今仍在进行 本次课设主要是应用ZEMAX光学设计软件，设计出25×显微镜物镜光学系统。经过计算机优化—系统分析—微调参数—改变参数变量—再次进行优化反复过程之后，设计出了能够很好的消除系统像差的物镜和整个光学系统，使得成像光斑达到了衍射极限。分析和评价模拟结果的点列图、波像均方差、波前均方差、光学传递函数等参数，设计出符合设计要求的显微物镜。 关键词：显微物镜；ZEMAX；优化；光学系统 2物镜设计方案 25×显微镜物镜属于中倍显微物镜，通常由两个分离的双胶组合透镜组成，这类物镜也称为里斯特物镜，它的倍率一般在6×至30×之间，数值孔径NA为0.2至0.6之间。 由于显微物镜倍率较高，像距远大于物距，显微物镜的设计通常采用逆光路方式，即把像方的量当做物方的量来处理。 里斯特物镜两个双胶合透镜光焦度分配的原则通常是使每个双胶合透镜产生的偏角相等或者是后组的偏角略大于前组。里斯特物镜的光阑通常放在第一个双胶合透镜上。 当两个双胶合透镜