利用Zemax辅助标定长期存放的大口径圆形离轴非球面.pdfVIP

第 4o卷第 7期 红外与激光工程 2011年 7月 V01．40No．7 InfraredandLaserEngineering Ju1．2Oll 利用 Zemax辅助标定长期存放的大 口径圆形离轴非球面 叶海仙 ，鄢定尧 ，张 宁，杨李茗 (成都精密光学工程研究中心，四川 成都 610041) 摘 要：检测标定了一块放置多年的4530rain离轴非球面。根据当年的结构参数，在光学设计软件 Zemax中建立 了该离轴非球面的检测模型。利用_y轴离心和X轴倾斜 实现了离轴和光束倾斜。通过对 某结构参数多次赋值，并将其他结构参数设为变量，优化并观察干涉图变化，找到最佳参数值。根据 Zemax对参数的优化结果，使用4D干涉仪和 q~510mm的平面反射镜，搭建实际检测光路，观察干涉 图并进行微调 ，测得最终结果。去彗差和像散前后图像 PV值几乎不变，达到 了调节标定要求。使用