可提升电阻量测效能的电源量测设备-电子工程专辑.PDF

可提升電阻量測 效能的電源量測設備 本文由 安捷倫科技(Agilent)提供 Agilent B2900A 系列精密型電源量測設備(SMU)包含多款造型輕巧、經濟實惠，並且兼具電 壓和電流量測功能的桌上型SMU。此系列SMU 支援10 fA 到10.5 A 的電流範圍，以及100 nV 到 210 V 的電壓範圍，讓使用者能夠比以往更準確、更迅速地執行各種不同的電流電壓(IV) 量測功能。Agilent B2900A 系列並支援電阻量測功能，可進行低電阻與高電阻量測。 準確地量測電阻，確實是量測科學領域最艱鉅的挑戰之一。有很多因素都會影響到電阻量測 的準確度，包括測試導線的殘餘電阻、熱電動勢(EMF) ，以及量測路徑中的漏電流。Agilent B2900A 系列擁有多元特性，可克服前述量測問題，包括透過4 線式量測法執行遠端感測功能、 偏移補償，以及保護功能。本技術總覽將進一步說明這些功能。 B2900A 系列SMU 簡介 Agilent 2900A 系列SMU 將電流源、電壓源、電流錶及電壓錶等多項功能結合於一機，您可 輕易地切換使用這些功能(請參見圖一) 。如此一來，不需要其他設備便可在所有四個量測象 限上，評估各種元件的電流電壓特性。除了可以正確地輸出及量測電壓或電流之外，此系列 SMU 並提供電源限制功能，以便限制電壓或電流輸出，可避免元件受損。 該系列 SMU 有單通道或雙通道機種可供挑選，可為各種雙端與三端元件提供廣泛的電流電 壓量測，包括10 fA 至10.5 A 電流及100 nV 至210 V 電壓的量測範圍。在直流操作模式之外， B2900A 系列亦具備脈衝量測功能，可避免因元件自熱效應而導致量測結果失真；以及內建電 阻量測功能。 Agilent B2900A 系列具備真正的電壓/電流供應與 量測功能，是執行準確電阻量測的理想解決方案。 此外，Agilent B2900A 系列提供多項專為提升電 阻量測準確度而開發的特殊內建功能。下面段落 將詳細討論這些功能。 消除殘餘電阻效應 基本的 2 線式連結是最常用的電阻量測方法，如 圖一 B2900A 系列是四機一體的精密型電 圖二 a 所示，此配置使用同一對測試導線來同時 源量測設備(SMU) 供應電流與量測電壓。這種方法很適合用於電阻 量測，只要導線殘餘電阻比起待測元件(DUT)低很 多即可。 然而，如果是執行超低電阻量測，由於導線殘餘電阻與DUT 電阻不相上下，2 線式量測法會 導致錯誤的量測結果，如圖二 b 所示。在此情況下可使用 4 線式量測法(遠端感測)來避免產 生這樣的錯誤。4 線式量測法使用一對導線來供應電流，並且使用另一對導線監測電壓，因 而可避免產生電纜電阻效應，同時可集中量測DUT 的整體壓降，如圖二c 所示。 此外，Agilent B2900A 系列的4 線式量測法，可將介於感測點(即圖二b 的A 和B)之間的電 壓，精準維持在指定的電壓Vset ，如此可確保儀器只會在設定的量測條件下，正確完成待測 元件的特性分析。Agilent B2900A 系列同時支援2 線式和4 線式量測法，可輕易地切換使用 Copyright © 2012 eMedia Asia Ltd. 電子工程專輯網站()所有內容均受版權保護 這兩種方法。 圖二 4 線式量測法可消除因殘餘導線電阻值所導致的量測誤差 偏移補償 在量測低電阻時，儀器本身的偏移電壓，以及因為關閉 SMU 輸出路徑之機械式磁簧繼電器 所產生的熱電動勢(EMF) ，都會導致量測誤差。圖三 a 顯示這類效應的等效電路模型。量測 低電阻時，待測物的整體壓降較小，