推进半导体制造技术国产化--记浙江大学机械电子控制工程研究所特聘研究员黎鑫博士.pdfVIP

创新人物 Innovation Character 推进半导体制造技术国产化 ——记浙江大学机械电子控制工程研究所特聘研究员黎鑫博士 ◎ 文/白文龙 作为信息产业的核心和基础，半导体技术和产品的每次突破，都推动着信息技术的跃进。曾有人 如此形容半导体产业的作用——半导体制造业的落后，好比一个国家的经济、科技和国防现代化的地 基建在松软的沙地上。因此，世界各国都在积极推动半导体制造业的发展，我国也不例外。《国家中长 期科学和技术发展规划纲要》将新一代信息技术产业列入战略性新兴产业重点发展的七大产业，其中 先进半导体制造业为重点攻关方向之一。在种种利好政策和激励机制的推动下，我国的半导体产业取 得了长足发展。 “我们需要做的是自主创新，是 大力气攻关，拿出自己的解决方案， 出，黎鑫得到了日本文部科学省的 针对核心技术进行研发和突破，在 填补我国在半导体制造设备研发方 奖学金以及民间奖学财团的资助， 技术密集型、高附加值的关键环节 面的空白。 并于2009年提前半年破格拿到博 占有一席之地，我们要走在别人前 “我到日本留学的目的不是为 士学位；同年取得日本计测与自动 面一步。” 浙江大学机械电子控制 了留在日本工作，而是要学好本事， 控制控制学会认定的“计测与控制 工程研究所的黎鑫博士长期致力于 把学到的知识带回国，变成中国工 工程师资格”，还获得了日本流体 半导体制造相关的机电技术研究。 业赢得国际市场的利器。”在浙江 传动学会的“SMC论文奖”的表彰； 在他看来，我国的产业规模虽然得 大学机械工程机电一体方向毕业 2011年在流体传动及机电技术的国 到了迅速的扩张，但我们更应该清 后，黎鑫于2004年赴日本东京工 际会议上获得了“最优秀会议论文 楚地认识差距，直面技术难题，下 业大学留学。留学期间，因成绩突 奖”。毕业后，黎鑫留任东京工业 66 2013.11 创新人物 Innovation Character 大学精密工学研究所，先后 担任博士后研究员、助理教 授和副教授研究员，期间还 兼任了日本佳能株式会社的 自动控制理论的讲师和日本 流体传动学会的气动技术理 论的讲师。2013年6月，黎 鑫回到母校浙江大学机械电 子控制工程研究所，任职特 聘研究员，终得一方施展才 华、为国尽力的舞台。 多年来，黎鑫主要针对 半导体制造中的一些关键机 电技术开展研究，所应用到 的专业知识涉及机械设计、 流体力学、材料/弹性力学、 控制工学及检测技术等多门 学科。他通过长年的研究取 得了多项具有高度原创性的成果， 即非接触式吸附装载。这一技术实 气悬浮元素设计新思路，并基于该 在相关领域得到广泛认可。 现了在装载过程中对硅晶片的零损 思路设计了“流量增幅型气悬浮元 黎鑫的一个具有代表性的研究 害，在国内外获得多项发明专利， 素”。他在气轨道的每一个悬浮单 成果是非接触式吸附装载装置，该 并成功地实现了技术转让和产品化， 元里建立小型涡流，并利用涡流中 装置已经被应用到了实际的硅晶片 于2011年、2012年在上海和东京举 心的负压来吸入额外的流量从而实 生产线上。众所周知，硅晶片是大 行的国际半导体展会上展出，引起 现流量增幅的效果。也就是说，只 规模集成电路的载体，在生产及装 产业界同行的广泛关注。 使用很少的供气量就能够实现同等 配过程中与装载装置发生接触的部 大型液晶玻璃基板悬浮传送系 的悬浮效果。目前的研究结果表明， 位极易产生集中应力、静电和划痕， 统的研发是黎鑫的另一项代表性成 该设计能够把供气量削减一半，这 从而导致硅晶片的工作表面破损。 果。液晶玻璃基板一直朝着大型化 对于大型气悬浮轨道系统而言，节 针对这一问题，黎鑫自主创新设计 和薄型化的方向发展以追求更高的 能效果是非常显著的。 了气旋流非接触式吸附装置，确保 产能。例如，2009年发布的第10 黎鑫还建立起自己的研发团 在吸附起硅晶片的同时不与硅晶片 代液晶基板长宽接近3