多晶硅切割废砂浆中高纯硅的回收.doc

多晶硅切割废砂浆中高纯硅回收的综合利用 目 录 摘 要 I ABSTRACT II 1.绪论 1 1.1 国内切割废料的回收状况 2 1.1.1周寿增的处理工艺 2 1.1.2金柏林的处理工艺 2 1.1.3张捷平的处理工艺 3 1.1.4杨建峰的处理工艺 3 1.1.5奚西峰的处理工艺 4 1.1.6邢鹏飞的处理工艺 4 1.1.7工艺小结 5 1.2国外在废料浆回收硅方面的工艺 5 1.2.1高温处理法 5 1.2.2过滤法 6 1.2.3电场分离法 7 1.2.4离心分离法 9 2实验部分 11 2.1实验流程 11 2.2废砂浆的成分 11 2.2.1砂浆中铁的测量 12 2.1.2砂浆中硅的测量 16 2.2除铁 18 2.2.1磁选法 19 2.2.2酸洗法 19 2.3 降粘 20 2.4 固液分离 20 2.4.1抽滤法 20 2.4.2离心法 20 2.5洗涤 21 2.6硅的提纯 22 2.6.1浮选法 23 2.6.2静置法 23 2.6.3溢流法 24 2.6.4结果与讨论 26 3 结论与展望 27 3.1结论 27 3.2展望 27 致 谢 28 参考文献 29 多晶硅切割废砂浆中回收硅粉综合利用 摘 要 硅切割过程中所产生废砂浆有很大的回收价值，本实验主要通过物理方法来对砂浆进行处理，实验的主要步骤： 除杂→降粘→固液分离→固体洗涤→硅与碳化硅的分离。在硅切割过程中混入的铁屑必须予以清除，可选的方法有酸洗和磁选两种方法。前者引入酸液，而磁选既能达到除铁的目的，故本实验选用磁选，除铁率达96.57%。废砂浆的黏度过大，影响后续的砂浆处理，这里经过探究，通过加50%水来进行降粘；PEG和硅都有很高的回收价值，故而分离以分别回收，这里采用离心的方法进行分离，达到了分离的目的.由于分离完的固体中还含有大量的聚乙二醇，所以采取分离洗涤法来去除聚乙二醇，达到了很高的去除率。在进行以上步骤以后，再进行硅与碳化硅的分离，通过静置法使硅的回收率达63.1%。 关键词 废砂浆/回收利用/硅 The comprehensive utilization of high purity silicon recovered from cutting slurry waste ABSTRACT There is a lot of value to recycle the silicon which produced in the process of cutting silicon ,this experiment deals with it through the physical method .The main steps of plan are, removing impurity ,reducing viscosity , solid-liquid separation , solid washing and the separation of silicon and silicon carbide in the process of the cutting silicon ,which brings a little of scrap iron that must be cleared, there are two ways ,pickling and magnetic separation ,to be chose to do it .We choose magnetic separation to deal with it ,which could avoid secondary pollution .The rate of removing iron is to 96.57%. The viscosity of cutting slurry waste is too large to dispose，so we decide to add 50% water to lessen it .PEG and silicon are worth to recycle ,the methods of centrifugal separation is chose to achieve the goal .In order to obtain the pure silicon , we choose centrifugal washing to wash it . Finally , we take silicon carbide from the solid by stalling method ,which makes separation rate is as