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2008年1月 机床与液压 Jan．20o8
第36卷第1期 MACHINE TOOLHYDRAULICS VolI 36 No．1
压电双晶片直接驱动式伺服阀的研究
曲兴田 ，董云峰 ，赵宏伟
(1．吉林大学，长春130025；2．吉林建筑工程学院，长春130021)
摘要：提出一种利用压电陶瓷片直接驱动的伺服阀，分析了双压电晶片的静、动态特性，制造了双晶片直接驱动式伺
服阀样机。该伺服阀具有高于传统电磁式伺服阀的频宽与分辨率，它的机械结构简单，抗干扰能力强。
关键词：双压电晶片；压电伺服阀；静动态特性
中图分类号：114137．33 文献标识码：A 文章编号：1001—3881(2008)1—078—2
Research on Servo Valve Directly Driven by Double Piezoelectric Wafer
QU Xingtian ，DONG Yunfeng ，ZHAO Hongwei
(1．Jilin University，Changchun 1 30025，China；
2．Jilin Architectural and Civil Engineering Institute，Changchun 1 30021，China)
Abstract：A kind of servo valve directly driven by piezoelectric ceramic was proposed．The proposed servo valve is of broader fre-
quency band and higher resolution ratio than the traditional electromagnetic type servo valve，and has the advantages of a simple me-,
chanical structure and strong anti—interference．The static and dynamic characteristic was analyzed．The prototype 8,elWO valve directly
driven by double piezoelectric wafer was prepared．
Keywords：Double piezoelectric wafer；Piezoelectric servo valve；Static and dynamic characteristic
0 前言 1 赢接驱动式电液伺服阀 (图1)的工作原理
电液伺服阀是液压控制系统中常用的关键元件， 放大器 位移传感器 阀芯 动圈 导磁体 磁钢
电液伺服阀能将电信号转换成液压信号，是电液伺服 一 i ／ ／ {
控制系统的核心部件，它具有响应速度快、可控制性 ／／ ／／／
好、输出功率大、容易检测、结构紧凑、能适应模拟 ’ 。 0’
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量和数字量调制等诸多优点，所以在各种伺服控制系 口
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统中得到了广泛的应用，并受到国内外专家的重视。
电液伺服阀用于连接系统的电气与液压部分，将输入
的小功率信号转变为阀的运动，实现电、液信号的转
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