陶瓷基板上的集成微电感模型与制作 model and fabrication of integrated micro-inductors based on ceramic substrate.pdfVIP

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2017-08-22 发布于上海
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陶瓷基板上的集成微电感模型与制作 model and fabrication of integrated micro-inductors based on ceramic substrate.pdf

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陶瓷基板上的集成微电感模型与制作 model and fabrication of integrated micro-inductors based on ceramic substrate

技术专栏 Colmnn Technology doi：10．3969／j．issn．1003·353x．2009．11．006 陶瓷基板上的集成微电感模型与制作王建卫1,2a，蔡坚1’2a，窦新玉1,2b，王水弟1,2a (1．清华信息科学与技术国家实验室(筹)，北京100084；2．清华大学a．微电子学研究所； b．信息技术研究所，北京100084) 摘要：对陶瓷基板上的集成微电感模型进行了分析。由于陶瓷基板的介电常数比Si基板低，电阻率极高，因此衬底损耗大大减小，从而有效提高了电感的Q值。同时，为了更好进行对比，研究中采用相同工艺在陶瓷基板和si基板上同批制作了集成电感，两者的结构参数完全一致。测试结果表明，两者的电感值￡基本相同，然而陶瓷基板上集成微电感Q值的峰值要比Si基板集成微电感高7 GI-h左右。左右，si基板上Q值峰值在5G陀以下，而陶瓷基板集成微电感的Q值峰值在10 关键词：陶瓷基板；集成微电感；Q值；薄膜集成中图分类号：TN409文献标识码：A ModelandFabricationof Micro．Inductors Integrated onCeramicSubstrate Based Jianweil28，CaiJianl，28，Dou Shuidil,2a Wang Xinyul’孙，Wang National Scienceand (1．TsinghuaLaboratoryforInformation Technology(TNList)， Institute ＆qing100084，China；2．a．InstituteofMicrodectronics；b．R黜eawhofInformation Univers妇，Being100084，Ch／na) Technology，Tsinghua modelof inductorbasedonceramicsubstratewas valuesof Abstract：The integrated analyzed．TheQ constantand ofceramic inductomincrease becauseofthelowerdielectric bulk dramatically higherconductivity leadstosmallersubstrate1088thanSisubstrate．Atthesame inductors substrate。which time，integrated werefabricatedonbothceramicandSisubstratefor resultsshowthattheLvaluesof comparison．Testing