合成参数对ZrN%2fW和CrN%2fZrN纳米多层膜的结构及其性能的影响.pdfVIP

第一章 绪论 第一章绪论 §1．1引言 了通电导线使材料蒸发的物理蒸发制备薄膜方法以后，薄膜技术就成为了研究的 热点。由于早期技术的落后，所制得的薄膜重复性较差，从而限制了薄膜的应用。 在制各薄膜的真空系统和检测系统(电子显微镜、低能电子衍射以及其他表面分 析技术)有了长足进步以后，薄膜的制备与检测才大有改观，从此薄膜的应用也 迅速拓展，随着电子工业和信息产业的兴起，薄膜技术和薄膜材料愈发显示出其 重要的作用。现在，薄膜技术和薄膜材料已经渗透到现代科技和国民经济的各个 重要领域，如航空航天、医药、能源、交通、通信和信息等。同样，在高新技术 产业，薄膜技术和薄膜材料也占有重要的一席之地。如今，薄膜材料正向综合型、 智能型、复合型、环境友好型、节能长寿型以及纳米化方向发展，它必将为整个 材料的发展起到推动和促进作用。表1_1歹Ij出了物理气相沉积镀膜的典型应用。 随着材料科学的发展，大量新型高硬度材料被用来制作器件以适应越来越高 的应用需求。而高硬度材料的加工需要硬度更高的材料制作加工工具，同时对加 工工具的耐高温性能、抗磨损性能提出了更高的要求。寻找具有高硬度、耐高温、 低摩擦、低磨损材料是材料科学面临的重要发展方向，对国民经济的发展提供重 要的基础。自20世纪70年代起，硬质涂层就被成功地应用在材料保护，特别是 应用于延长金属切削工具的寿命。它们的加工工艺和性能，如硬度、磨损和抗氧 化性一直被不断提高。 然而单一的薄膜材料难以满足人们对其综合机械性能日益提高的要求，为满 足不同的加工要求和使用环境，薄膜成分趋于多元化、复合化。具有高硬度、高 耐磨特殊性能的纳米多层膜材料的不断涌现，在当代高新技术领域起着重要的作 用，是国际上科技研究的热点之一，纳米多层硬质薄膜的研究直接关系到工业技 术的发展，很多新型薄膜材料的发现和研究都是从实验室开始，然后才进入工业 应用领域的。 第一章 绪论 表1-1物理气相沉积镀膜的典型应用 应用 镀膜 基体(或组合) 用例 TiC，砸N，TiAIN，A120a． 刀具、模具、超硬工具、 高速钢、硬质台金、模具钢、碳钢 耐磨 H蚋，WC，Cr 机械零件 mobSi02，SigN, 钢、塑料、半导体 表面保护强化 Al，W，Ti，Ta．Mo，Co．Cr-A1系钢、不锈钢、耐热合金、Co—Cr-A1一Y排气管、耐火材料、发动 耐热 合金 系合金 机材料、航空航天器件 飞机、船舶、汽车、管材、 耐蚀 A1，Zn，Cd’Ta．Ti 普通钢、结构钢、不锈钢 一般结构材料 喷气发动机轴承、航空航 耐滑 高温合金、轴承钢 Au，AgPb，Cu-Au，Pb，，MoS2 天及高温旋转器件 铜、黄铜、铝、铜、不锈钢、玻璃、 首饰、徽章、钟表、眼镜、 装饰 Au，Ag，Ti，AI，TIN，mCCrC 塑料