玻璃紫外激光精密切割技术地研究.pdf

目录 摘 要 ……………………………………………………………………………………..……I Abstract ………………………………………………………………………………….……III 1 绪论 …………………………………………………………………………………………1 1.1 激光加工的发展现状 …………………………………………………………… .1 1.2 激光切割技术概述………………………………………………………………… .2 1.3 本论文的研究目标与研究内容………………………………………………….. .3 2.紫外激光精密切割技术 .5 2.1 紫外激光的发展 …………………………………………………………………….5 2.2 紫外激光的切割原理 ……………………………………………………………5 2.3 紫外激光切割的优势 6 2.4 紫外激光的应用范围 ……………………………………………………….……...6 2.5 紫外激光与红外激光切割比较 .7 2.6 紫外激光切割设备的构造与控制7 3.激光切割玻璃技术研究 …………………………………………………………………..17 3.1 激光切割玻璃发展现状 …………………………………………………………..17 3.2 玻璃对各波段激光的吸收…………………………………………………………18 4.镀膜玻璃切割工艺研究 42 4.1 技术背景 ………………………………………………………………………… .42 4.2 实验方案 ………………………………………………………………………… .42 4.3 实验结果分析………………………………………………………………… …. 43 4.4 降低镀膜表面污染的改进方案 ……………………………………………… …..47 4.5 降低热影响区的实验方案 …………………………………………………… ….50 5.ITO 玻璃切割工艺研究 ……………………………………………………………… …..53 5.1 技术背景 ………………………………………………………………………… .53 5.2 紫外激光对ITO触控面板的切割………………………………………………… 53 5.3 ITO 玻璃水下切割实验………………………………………………………… 55 5.4 加能量吸收层切割……………………………………………………………… 60 5.5 玻璃锥度的切割 ……………………………………………………………… ….62 6 总结与展望 ……………………………………………………………………………… ..66 6.1 总结 …………………………………………………………………………….….66 6.2 展望……………………………………………………………………………… 66 参考文献 …………………………………………………………………………………… .68 致谢…………………………………………………………………………………………. 错 误!未定义书签。 V 烟 台 大 学 硕 士 学 位 论 文 1 绪论 1.1 激光加工的发展现状 激光加工技术是与光学、光电子学、材料学、计算机、机械学、自动化等学 [1] 科相结合的综合性高新技术 。激光加工在激光应用领域有着广阔的应用前景。 在二十世纪七十年代，出现了大功率激光器，经历了长时间的探索与积累，激光 加工技术已经形成了激光焊接、激光切割、激光打孔、激光标记、激光表面热处 理、激光合金化、激光熔覆、激光快速原型制造、金属零件激光直接成型、激光 [55] 刻槽、极光掺杂等应用