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!!# 器件与技术
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聚酰亚胺在!!# 中的特性研究及应用
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邓俊泳 ,冯勇建
(厦门大学机电工程系,福建 厦门 ;
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67厦门大学萨本栋微机电研究中心,福建 厦门 89!::; )
摘要:聚酰亚胺具有耐高温、耐腐蚀、绝缘性能好、化学性质稳定等特点,在 #$ 工艺中有
很广泛的应用前景,适于做牺牲层、绝缘层和平坦层等。在简要介绍聚酰亚胺的基础上,着重
介绍聚酰亚胺在#$ 工艺中的特性、工艺流程及应用。
关键词:聚酰亚胺;#$ ;高分子材料
中图分类号: ; 文献标识码: 文章编号: ( )
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在日本,#$ 亦称为微机械,在德国则称为微系
! 引 言
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统 。
微机电系统 ( )全称为 聚酰亚胺是一种高分子材料,具有耐高温、绝
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