半导体制造重调度研究-中国科技论文在线.pdfVIP

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2018-08-19 发布于天津
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半导体制造重调度研究-中国科技论文在线

中国机械工程第卷第期年月下半月 ! % $##% ( 半导体制造重调度研究李莉乔非吴启迪 ! ! ! ! 同济大学!上海! $###$ 摘要!以半导体制造重调度为研究对象!构建了半导体制造重调度体系结构!在此体系结构下!分析了引发半导体制造重调度的因素!提出了相应的重调度策略何时引发重调度以及引发何种重调度#!进一步探讨了重调度方法中的全局修正式重调度方法!给出了基于群体智能的半导体制造重调度模型!建立了用于重调度性能评价的短期性能指标体系$ 关键词!半导体制造重调度重调度因素重调度策略重调度方法中图分类号! 文章编号! # $ % # # =C$’ !##* !($D $##%#% #%!$ #) !!! O%8%’-)L.$O%8)L%95+#$ /.-4%#).$95)(.-0’/%-E’,8 C L8L8 ./8M8J BNM8-8 ! ! =G 8PG8Q/7R8S @FJG FJ8 $###$ HV T H ! ;,8(-’)( .]NR8G G7/R]F/-NZ8G XR/W8]G-N]S7OJX/7XJ[R SF/7/R]F/-NZ8G X7JW/O7^X7 H H H R/W8]G-N]S7WJGNXJ]SN78G OJR]GRS7N]S/- OF8]F]GR8RS/-X7/R]F/-NZ8G RS8WNZJS/-XJ]S7R 7/d H H R]F/-NZ8G RS7JS/ 7/R]F/-NZ8G W/SF-JG-7/R]F/-NZ8G /7X7WJG]//QJZNJS8GA0JR/-GSF/ 7d H HT H H\ \ R/-7/R]F/-NZ8G X7JW/O7^ SF/7/R]F/-NZ8G RS8WNZJS/-XJ]S7RXR/W8]G-N]S7 WJGNXJ]SN7/ \ H H $ O/7//GS87/Z JGJZU/- JG-SF/7/R]F/-NZ8G RS7JS/ 8A/AOF/G7/R]F/-NZ8G JG-OF8]F7/R]F/-NZ