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微机械陀螺仪反馈控制器鲁棒性分析及闭环接口检测电路设计.pdf
第41卷第3期 东南大学学报(自然科学版) V01．41No．3
201 JOURNALOFSOUTHEAST Science 2011
1年5月 UNIVERSITY(NaturalEdition) May
doi：10．3969／j．issn．1001-0505．2011．03．019
微机械陀螺仪反馈控制器鲁棒性分析及
闭环接口检测电路设计
卢海曦 王寿荣 周百令
(东南大学仪器科学与j1：程学院，南京210096)
摘要：在分析微机械陀螺仪静电力反馈检测结构的基础上，提出了一种对现有Sigma—Delta静电
力反馈检测方式的改进设计．对微机械陀螺仪闭环检测系统进行了离散化处理．基于Lyapunov
稳定性原理，构造了一类能够使系统有限时间稳定的输出反馈控制器，并对其鲁棒性能进行了分
0．35
析．该电路系统在Cadence平台下使用AMSIxmCMOS工艺实现，完成了包括前端敏感电
路、调制解调器和反馈控制器在内的关键部分的设计，并通过了仿真验证．系统的关键性能与比
例一积分一微分(PID)控制器改进的静电力反馈电路进行了比较．分析结果表明，改进的闭环检测
ms之内恢复到平衡状态，
系统在陀螺信号带宽上信噪比达到106dB，在扰动发生后可以在130
所需时间短于采用PID控制器的检测回路．因此，加入了输出反馈控制器的闭环系统比普通系
统具有更加良好的检测性能．
关键词：微机械陀螺仪；静电力反馈检测；有限时间稳定；输出反馈控制；接口电路
中图分类号：U666．123文献标志码：A
Robustnessofa offeedbackcontrollerand of
analysistype design
circuitofmicro-machined
closed—loopsensing gyroscope
LuHaixi Zhou
Shourong Bailing
Wang
ofInstrumentScienceand
(School Engineering，SoutheastUniversity，N姐jhag210096，China)
onthe ofmicro·-machinedforce·-balancedfeedback
Abstract：Based gyroscope
analysis sensing
modificationofthe force—balancedschemeis
structure，a generalSigma-Delta sensing proposed．Dis—
cretizationofmicro—machined isdescribed．Aof
gyroscopeclosed—loopsensingsystem typeoutput
feedback Canst
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