超光滑表面及其制造技术的发展3-物理.PDFVIP

3 ! ÷ ! ΤΗΕ∆ΕςΕΛΟΠΜΕΝΤΑΝ∆ ΑΠΠΛΙΧΑΤΙΟΝΟΦΥΛΤΡΑ2ΣΜΟΟΤΗΣΥΡΦΑΧΕΣ 2 ≤2 ≠ ≤∞≤∏2× ( Βειιν Χεντερ ορΧρσταλΡ ∆, Χηινεσε Αχαδεµ ο Σχιενχεσ, Βειιν ) ϕ γ φ ψ ψ φ ϕ γ ( Στατε Κε Λαβορατορ ο Α λιεδ Ο τιχσ, Χηινεσε Αχαδεµ ο Σχιενχεσ, Χηαν χηυν ) ψ ψ φ ππ π ψ φ γ Αβστραχτ • √√∏2∏∏ √ √ ∏ ∏2∏ ∏∏2 ∏ ¬ ° ∏2 2 √ ƒ2 ∏∏∏2 ∏ Κε ωορδσ ∏2 ∏2∏ ∏ ψ ≥ !