薄膜材料与技术-9 课件.pdf

薄膜材料与技术 （9 ） 李美成 2006秋季学期 1 1 第九章薄膜形成过程与生长模式 9.1 薄膜的凝结过程 9.2 核形成与生长 9.3 薄膜的形成过程和生长模式 9.4 溅射薄膜的形成过程 9.5 薄膜的外延生长 9.6 薄膜形成过程的计算机模拟 薄膜材料与技术 薄膜材料与技术 2 2 薄膜的形成过程实质上是气— 固转化、晶体 生成的过程，它大致可以分为下面几个主要 的步骤： ①原子或分子撞击到固体的表面； ②它们被固体表面的原子所吸附或直接 反射回空间； ③被吸附的粒子在固体表面发生迁移或 扩散而移动到表面上的合适的格点位 置并进入晶格。 这些过程以及它们之间的相互关系就决定了 薄膜的形成过程和薄膜的性质。 薄膜材料与技术 薄膜材料与技术 3 3 制备薄膜时，粒子（原子、离子或分子）从气相 中到基片上沉积成薄膜，这是一个相变过程：由 气相到吸附相，再到固相。 在热力学上，当基片与薄膜属于同种材料时，在 基片上发生凝结的唯一条件是：材料的气相分压 等于或大于同样温度下它的凝结相蒸气压。 当基片和薄膜是不同材料时，凝结过程则是先从 气相到吸附相，即是材料的原子（或离子，分 子）先从气相被单个地吸附在基片表面上形成吸 附相，然后才是被吸附的单个原子相互结合，形 成小原子团。由于微小质点的蒸气压大于块状材 料，所以要在基片上形成晶核，制造薄膜所用材 料的气相分压必须大于微小质点的饱和蒸气压。 薄膜材料与技术 薄膜材料与技术 4 4 小原子团的形成才是凝结的开始，这时才 出现凝结相。往后是小原子团长大，成为 晶核，许多晶核继续长大，先是形成不连 续的薄膜，然后在薄膜平均厚度达到一定 值时，才成为连续薄膜。 但是，就薄膜的整个形成过程来看，则是 晶核的形成与长大同时进行着，即是在基 片上有的地方在进行着成核过程，而在已 有晶核的地方，晶核在长大。 薄膜材料与技术 薄膜材料与技术 5 5 9.1 薄膜的凝结过程 薄膜的形成一般分为凝结过程、核形成 与生长过程、岛形成与结合生长过程。