15 敏感陶瓷.doc

15 敏感陶瓷 本章提要 敏感陶瓷材料是某些传感器中的关键材料之一，用于制作敏感元件。敏感陶瓷属半导体陶瓷，是一类新型多晶半导体功能陶瓷。本章简要介绍了敏感陶瓷的分类、敏感陶瓷的半导化过程，重点介绍了热敏、压敏、湿敏、气敏、光敏等敏感陶瓷。对上述敏感陶瓷的性质、敏感原理、制造工艺及应用等都作了较详细的介绍。应重点掌握热敏（PTC）、压敏、气敏陶瓷等敏感陶瓷。 15.1 敏感陶瓷的分类及应用 敏感陶瓷是某些传感器中的关键材料之一，用于制作敏感元件，敏感陶瓷多属半导体陶瓷(semiconductive ceramics)，是继单晶半导体材料之后又一类新型多晶半导体电子陶瓷。敏感陶瓷材料是指当作用于由这些材料制造的元件上的某一个外界条件，如温度、压力、湿度、气氛、电场、光及射线等改变时，能引起该材料某种物理性能的变化，从而能从这种元件上准确迅速地获得某种有用的信号。按其相应的特性可把这些材料分别称作热敏、压敏、湿敏、光敏、气敏及离子敏感陶瓷。这类材料大多是半导体陶瓷，如ZnO、SiC、SnO2、TiO2、Fe2O3、BaTiO3和SrTiO3等。 此外，还有具有压电效应的压力、位置、速度、声波敏感陶瓷，具有铁氧体性质的磁敏陶瓷及具有多种敏感特性的多功能敏感陶瓷等。这些敏感陶瓷已广泛应用于工业检测、控制仪器、交通运输系统、汽车、机器人、防公害、防灾、公安及家用电器等领域。各种敏感陶瓷的分类、用途及材料见表15.1所示。 表15.1传感器陶瓷 (1)温度传感器 输 出 效 应 材料(形态) 备 注 电阻变化 载流子浓度随温度的变化 (负温度系数) NiO,FeO,CoO,MnO,CaO,Al2O3,SiC(晶体，厚膜，薄膜) 温度计，测辐射热计 (正温度系数) 半导体BaTiO3(烧结体) 过热保护传感器 半导体-金属相变 VO2，V2O3 温度继电器 磁化强度变化 铁氧体磁性-顺磁性 Mn-Zn系铁氧体 温度继电器 电动势 氧浓差电池 稳定氧化锆 高温耐腐蚀性温度计 (2)位置速度传感器 反射波的波形变化 压电效应 PZT：锆钛酸铅 鱼探仪，探伤仪，血流计 (3)光传感器 电动势 热释电效应 LiNbO3、LiTaO3、PZT、SrTiO3 检测红外线 可见光 反斯托克斯(Stokes)定律 LaF3(Yb,Er) 检测红外线 倍频效应 压电体Ba2NaNb5O15(BNN), LiNbO3 萤光 ?ZnS(Cu,Al),Y2O2S(Eu) 彩色电视阴极射线显象管 ZnS(Cu,Al) X射线监测器 热荧光 CaF2 热荧光光线测量仪 (4)气体传感器 电阻变化 可燃性气体接触燃烧反应热 Pt催化剂/氧化铝/Pt丝 可燃性气体浓度计，警报器 氧化物半导体吸附、脱附气体引起的电荷转移 SnO2,In2O3,ZnO,WO3,γ-Fe2O3,NiO,CoO,Cr2O3,TiO2,LaNiO3, (La,Sr)CoO3,(Ba,Ln)TiO3等 气体警报器 气体热传导放热引起的热敏电阻的温度变化 热敏电阻 高浓度气体传感器 氧化物半导体的化学计量的变化 TiO2，CoO-MgO 汽车排气气体传感器 电动势 高温固体电解质氧浓差电池 稳定氧化锆(ZrO2-CaO,ZrO2-MgO,ZrO2- Y2O3,ZrO2-La2O3等) 氧化钍(ThO2,ThO2- Y2O3) 排气气体传感器(Lambda传感器) 钢液，钢液中溶解氧分析仪CO，缺氧不完全燃烧传感器 电量 库仑滴定 稳定氧化锆 磷燃烧氧传感器 (5)湿度传感器 电阻 吸湿离子导电 LiCl,P2O5,ZnO-Li2O 湿度计 氧化物半导体 TiO2,NiFe2O4,MgCr2O4+TiO2, ZnO,Ni铁氧体Fe3O4胶体 湿度计 介电常数 吸湿引起介电常数变化 Al2O3 湿度计 (6)离子传感器 电动势 固体电解质 AgX,LaF3,Ag2S,玻璃薄膜，CdS,AgI 离子浓差电池 电阻 栅极吸附效应金属氧化物半导体场效应晶体管 Si (栅极材料H+用：Si3N4/SiO2, S2-用：Ag2S, X-用：AgX,PbO) 离子选择性场效应晶体管 15.2 敏感陶瓷的结构与性能 现代电子技术要求陶瓷传感器将检测到的信息(如温度、湿度等)以电信号的形式输出，因此，传感器陶瓷常属半导体材料。通过微量杂质的掺入，控制烧结气氛(化学计量比偏离)及陶瓷的微观结构，可以使传统的绝缘陶瓷半导体化，并使其具备一定的性能。 陶瓷是由晶粒、晶界、气孔组成的多相系统，通过人为掺杂，造成晶粒表面的组分偏离，在晶粒表层产生固溶、偏析及晶格缺陷；在晶界(包括